Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Метод Метрологии NIST Гибридный Может Уменьшить Неопределенности в Измерении Характеристик Компьютерной Микросхемы

Published on September 7, 2012 at 6:43 AM

Волей Soutter

Национальный институт стандартов и технологий (NIST) изобретал гибридный метод метрологии который смог уменьшить неопределенности отнесенные к измерению характеристик на компьютерной микросхеме. Гибридный метод метрологии методы сочетание из статистического анализа и скеннирования.

Этот малюсенький штендер кремния, измеряя меньш чем 100 нанометров вдоль любой из своих сторон, вид характеристики компьютерной микросхемы что изготовления теперь могут измерить более точно с методом метрологии NIST гибридным, который может уменьшить придирчивые неопределенности которые длиной досаждали усилиям измерения индустрии. Кредит: NIST

Процесс изготавливания компьютерная микросхема включает много неопределенность, специально пока общающся с измерением нанометр-определенных размер характеристик. Оптически микроскопы не могут эффектно проанализировать эти малые характеристики. Metrologists вообще используют другие методы как атомная микроскопия усилия (AFM) и scatterometry для того чтобы изучить эти характеристики.

В scatterometry, свет разбросанный от краев компьютерной микросхемы создает картину от которой свойства характеристики можно дедуцировать. В случаях, где scatterometry не эффективны, metrologists используют AFM, медленный и дорогий процесс которым ширина и высота nano-определенного размер предмета могут быть измерены.

Ричард Серебрит, научный работник на NIST, сказало что если высчитаны, что будет ширина предмета 40 nm используя scatterometry, то фактическая ширина поменяла больше или 3 nm. Он чувствует что это отклонение относительно большое, и сверх того, неопределенности смогли увеличить когда другие методы измерения будут совмещены, водя к меньшей ясности. Он также сказал что GLOBALFOUNDRIES и IBM начинали использовать гибридный метод метрологии, после того как он был введен через конференцию в 2009, и успешны.

Научные Работники от NIST попробовали работать на изобретать метод который был более точн и экономичен. Измерения полученные от AFM и scatterometry методов были сравнены при сымитированные данные, котор хранят в архиве. Однако, это слишком имело высокий уровень неопределенности. Вентилятор Zhang Nien, statistician с NIST, используемый Байесовский анализ и включено немного более измерять значений в предыдущий архив моделирует. Этот подход уменьшил неопределенности в большой объем в немного случаев.

Источник: http://www.nist.gov/index.html

Last Update: 7. September 2012 07:59

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit