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NIST 的杂种计量学技术可能减少在计算机芯片功能的评定的不确定性

Published on September 7, 2012 at 6:43 AM

由意志 Soutter

国家标准技术局 (NIST) 构想了可能减少不确定性与功能评定有关在计算机芯片的杂种计量学技术。 杂种计量学技术是统计分析和扫描技术的组合。

此微小的硅柱子,评定少于沿的 100 毫微米任何其端,是类计算机芯片功能制造商可能精密地现在评定与 NIST 的杂种计量学方法,可能减少唠叨的不确定性长期困扰了行业的评定工作成绩。 赊帐: NIST

制造过程计算机芯片介入很多不确定性,特别是当处理毫微米尺寸功能的评定时。 光学显微镜不可能有效分析这些小的功能。 度量衡学者一般使用其他方法例如基本强制显微学 (AFM)和 scatterometry 学习这些功能。

在 scatterometry,从计算机芯片的边缘分散的光创建功能属性可以推导的一个模式。 在 scatterometry 处没有效,度量衡学者使用一个纳诺尺寸对象的宽度和高度可以评定的 AFM,一个缓慢和消耗大的进程。

理查变成银色,科学家在 NIST,说,如果使用 scatterometry,对象的宽度被计算是 40 毫微米,这个实际宽度将由 3 毫微米变化或多或少。 他感到此差异相对地大,而且,并且,不确定性可能增加,当评定其他技术被结合时,导致一点清晰。 他也说 GLOBALFOUNDRIES 和 IBM 开始使用杂种计量学技术,在 2009年后,在它通过一个会议被引入和是成功的。

从 NIST 的科学家设法在构想是更加准确和经济的技术从事。 从 AFM 和 scatterometry 方法得到的评定与在图书馆存储的被模拟的数据比较。 然而,这也有高级不确定性。 Nien 风扇张,有 NIST 的一个统计学家,被使用的贝叶斯的分析和合并一些个测量值到这个早先图书馆里塑造。 此途径到大规模范围减少了不确定性在一些个案件。

来源: http://www.nist.gov/index.html

Last Update: 7. September 2012 07:56

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