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La Technologie d'Energetiq Termine le Programme de Version du Produit pour la Source Lumineuse d'EQ-10HP 20-Watt EUV

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

Par Volonté Soutter

La Technologie d'Energetiq, une compagnie qui développe et produit des sources lumineuses d'ultra-haut-brilliance spécialisée pour des applications sophistiquées de technologie, a annoncé l'achèvement de son programme de lancement de produit pour 20 une source lumineuse neuve de W EUV appelée l'EQ-10HP.

Source Lumineuse D'Energetiq EQ-10HP 20-Watt EUV

Ensemble de la Technologie d'Energetiq le sixième pour l'usage des applications actiniques d'inspection dans d'EUV masques' slated pour l'expédition dans Q4 de 2012. La compagnie a prouvé sa dominance comme fournisseur principal des sources régulières, fiables et rentables d'EUV par sa Suite EQ-10, qui est identifié comme source de cheval de labour EUV pour des applications d'inspection et de métrologie d'EUV. Avec le lancement de son EQ-10HP neuf, la compagnie a étendu son commandement en offrant des sources de l'énergie 20-W élevées à la communauté d'EUV effectuant les produits actiniques d'inspection de masque.

Les sources lumineuses d'EQ-10HP EUV ont été utilisées dans des buts d'inspection de masque d'EUV pendant plus d'une année. D'ici la fin de cette année, six ensembles d'EQ-10HP sont anticipés pour être fournis et déployés aux sites client en travers du monde. La source lumineuse d'EQ-10HP EUV fonctionne à une puissance d'entrée considérablement plus élevée si comparée à ses prédécesseurs dans la Suite EQ-10, et fournit 20-W la dans-bande EUV dans les stéradians 2pi. La source lumineuse minuscule, plasma régulier et motivé par inductif le rend adapté pour le test d'EUV et les applications de mesure. Elle peut être facilement intégrée dans un outil de processus, grâce à son design modulaire. Elle comporte l'assemblage de source de Z-Pincement d'Electrodeless d'Energetiq, les circuits de commande, le sous-système de la fourniture de courant, et les sous-systèmes brevetés d'aspirateur et de gaz.

Selon le Vice Président des Ventes et le Mercatique de la Technologie d'Energetiq, Debbie Gustafson, la compagnie a introduit cette source lumineuse de la haute énergie EUV pour remplir les conditions de ses abonnées les Etats-Unis, en l'Europe et Asie. Par l'achèvement de son programme de version du produit pour l'EQ-10HP, la compagnie est équipée pour satisfaire l'exigence accrue en tant qu'entreprises de lithographie d'EUV dans la phase de production.

Source : http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:07

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