Технология Energetiq Завершает Программу Выпуска Продукции для Источника Света EQ-10HP 20-Watt EUV

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

Волей Soutter

Технология Energetiq, компания которая начинает и производит специализированные источники света ультравысок-яркости для изощренных применений технологии, объявила завершение своей программы введения продукта для нового 20 вызванного источника света W EUV EQ-10HP.

Источник Света Energetiq EQ-10HP 20-Watt EUV

Блок Технологии Energetiq шестой для пользы в применения осмотра масках EUV' актиничные slated для пересылки в Q4 2012. Компания доказывала свое засилье как ключевой провайдер устоичивых, надежных и эффективных стоимостью источников EUV через свою Серию EQ-10, которая как источник ломовой лошади EUV для применений осмотра и метрологии EUV. С стартом своего нового EQ-10HP, компания расширяла свое водительство путем предлагать высокие источники питания 20-W к общине EUV делая актиничные продукты осмотра маски.

Источники света EQ-10HP EUV использованы в целях осмотра маски EUV на сверх год. В конце этого года, предвидится, что поставлены и раскрыны 6 блоков EQ-10HP на местоположениях клиента через мир. Источник света EQ-10HP EUV работает на значительно более высокой силе входного сигнала сравнивано к своим предшественницам в Серии EQ-10, и обеспечивает 20-W внутриполосное EUV в стерадианы 2pi. Источник света малюсенький, устоичивая, индуктивн-управляемая плазма делает его соответствующим для испытания EUV и применений измерения. Его можно легко интегрировать в отростчатый инструмент, спасибо свое модульное проектирование. Он отличает агрегатом источника Z-Щипка Electrodeless Energetiq запатентованными, электроникой управления, подсистемой поставки силы, и подсистемами вакуума и газа.

Согласно Недостатку Технологии Energetiq - Президент Сбываний и Маркетинга, Дебби Gustafson, компания вводил этот источник света наивысшей мощности EUV для того чтобы выполнить требования своих клиентов в Соединенные Штаты, Европе и Азии. Через завершение своей программы выпуска продукции для EQ-10HP, компания оборудована для того чтобы соотвествовать увеличенный как рискованые начинания литографированием EUV в этап производства.

Источник: http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:08

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit