Energetiq 技术完成 EQ-10HP 20 瓦特 EUV 光源的产品推广程序

Published on September 25, 2012 at 6:16 AM

由意志 Soutter

Energetiq 技术,开发并且导致复杂的技术应用的专门化的超离频亮光光源的公司,宣布了其称 EQ-10HP 的新的 20 个 W EUV 光源的产品介绍程序的完成。

Energetiq EQ-10HP 20 瓦特 EUV 光源

Energetiq 技术的第六个部件用于 EUV 屏蔽’光化检验应用指定为在 Q4 的发运 2012年。 这家公司证明其优势作为平稳,可靠和高消费的 EUV 来源一位关键提供者通过其 EQ-10 串联,被认可作为 EUV 检验和计量学应用的耕马 EUV 来源。 其新的 EQ-10HP 生成,这家公司通过提供高 20-W 电源扩大了其领导为做光化屏蔽检验产品的 EUV 社区。

EQ-10HP EUV 光源用于 EUV 屏蔽检验目的一年。 今年底以前,六个 EQ-10HP 部件期望在这个世界的客户地点被提供和部署。 EQ-10HP EUV 光源运作在显著地更高的输入功率,当与其 EQ-10 串联的前辈比较,并且提供 20-W 同带信号传输 EUV 到 2pi 球面角度。 微小这个的光源的,平稳,引人主导的等离子使适用于 EUV 测试和评定应用。 它可以容易地集成处理工具,由于其模块设计。 它以 Energetiq 的给予专利的 Electrodeless Z 困苦来源集合、控制电子学、功率传输子系统和真空和气体子系统为特色。

根据 Energetiq 销售额和市场营销的技术的副总裁,德比 Gustafson,这家公司在美国、欧洲和亚洲引入此大功率 EUV 光源执行其客户的需求。 通过其 EQ-10HP 的产品推广程序的完成,这家公司被装备适应增长的需要作为 EUV 石版印刷事业到生产阶段。

来源: http://www.energetiq.com

Last Update: 25. September 2012 08:06

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