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La Technique Neuve de Microscopie Surveille et Règle le Procédé Gravure sur Nanoscale

Published on September 29, 2012 at 7:51 AM

Par Volonté Soutter

Une équipe de recherche aboutie par Professeurs Gabriel Popescu et Lynford Goddard à partir de l'Université de l'Illinois a développé une technique peu coûteuse utilisant un type particulier de microscope de corroder les caractéristiques techniques fragiles sur la surface des semi-conducteurs, tout en simultanément surveillant le processus complet en temps réel avec la définition de nanoscale.

C'est une image en trois dimensions du logo d'Université de l'Illinois corrodé dans un semi-conducteur de Gallium-arséniure, pris pendant gravure avec une technique neuve de microscopie qui surveille le procédé gravure sur l'échelle de nanomètre. La différence de hauteur entre les régions oranges et pourprées est approximativement 250 nanomètres. (photo par Chris Edwards, Amir Arbabi, Gabriel Popescu, et Lynford Goddard)

Le microscope emploie deux faisceaux lumineux à l'image et découpe la topographie avec la précision très haute. Goddard a avisé que le concept est basé sur la possibilité de mesurer la hauteur de la structure quand la lumière sort réfléchie de différentes surfaces. Les tarifs gravure à l'eau forte peuvent être déterminés en observant les changements de la hauteur, permettant à l'équipe de surveiller le procédé gravure. Ceci, consécutivement, permet à l'équipe de déterminer les tarifs gravure à l'eau forte en travers de l'espace ainsi qu'en travers du temps à chaque endroit sur le disque de semi-conducteur qui relève du champ de vision du microscope.

Les techniques Existantes de la microscopie de perçage d'un tunnel de lecture ou de la microscopie atomique de force ne sont pas capables de surveiller le procédé gravure dans son progrès. La technique neuve est plus rapide, moins bruyant, peu coûteux, et est purement optique, qui active la surveillance du disque entier immédiatement plutôt que point par point sans toucher la surface de semi-conducteur.

Sans Compter Qu'observer le procédé gravure, la lumière agit en tant qu'un catalyseur pour le procédé aboubait gravure photochimique. Pour produire les caractéristiques techniques exigées, des masques avec de seules configurations de gris sont employés pour briller la lumière par des degrés, un procédé qui est long et cher. Par comparaison, dans la technique neuve, une image de gamme de gris est brillée sur l'échantillon sous gravure utilisant un projecteur, de ce fait permettant à l'équipe de former les configurations compliquées facilement et rapidement, ainsi que les règle lorsque requis en changeant simplement la configuration de projecteur.

Selon les chercheurs, cette méthode se montre prometteur dans le suivi en temps réel de l'assemblage d'individu des nanotubes de carbone ou dans la surveillance d'erreur dans la production à grande échelle des puces pour ordinateurs. Elle peut faciliter des fabricants de circuits intégrés pour abaisser le temps de traitement et les frais en assurant continuellement l'étalonnage de leur matériel.

Source : http://www.illinois.edu

Last Update: 29. September 2012 08:55

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