Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Microscopy | Nanofabrication

There is 1 related live offer.

5% Off SEM, TEM, FIB or Dual Beam

Новый Метод Микроскопии Контролирует и Контролирует Процесс Вытравливания на Nanoscale

Published on September 29, 2012 at 7:51 AM

Волей Soutter

Научно-исследовательская группа водить Профессорами Габриэлем Popescu и Lynford Goddard от Университета Иллинойсаа начинала недорогой метод используя специальный вид микроскопа для того чтобы вытравить чувствительные характеристики на поверхности полупроводников, пока одновременно контролирующ весь процесс в реальное временя с разрешением nanoscale.

Это трехмерное изображение логоса Университета Иллинойсаа вытравленного в полупроводник арсенида галлия, принятый во время вытравливания с новым методом микроскопии который контролирует процесс вытравливания на маштабе нанометра. Разница в высоты между померанцовыми и пурпуровыми зонами приблизительно 250 нанометров. (фото Крисом Edwards, Amir Arbabi, Габриэлем Popescu, и Lynford Goddard)

Микроскоп использует 2 светового луча к изображению и высекает топографию с очень высокой точностью. Goddard информированное которое принципиальной схеме основывают на возможности измерять высоту структуры когда свет получает отраженным от различных поверхностей. Тариф etch может быть определен путем наблюдать изменениями в высоте, позволяющ команда контролировать процесс вытравливания. Это, в свою очередь, позволяет команда определить тариф etch через космос так же, как через время на каждом пятне на вафле полупроводника которая приходит внутри область видимости микроскопа.

Существующие методы микроскопии прокладывать тоннель скеннирования или атомной микроскопии усилия не способны контролировать процесс вытравливания в своем прогрессе. Новый метод быстре, более менее шумно, недорог, и чисто оптически, который включает контроль всей вафли сразу verb вернее чем пункт пунктом без касатьться поверхности полупроводника.

Кроме наблюдать процессом вытравливания, свет действует по мере того как катализатор для процесса даровал титул фотохимическому вытравливанию. Для того чтобы создать необходимые характеристики, маски с уникально картинами серого цвета использованы для того чтобы посветить свету градусами, процессу который требующий много времени и дорог. сравнением, в новом методе, изображение серой шкалы посвечено на образец под вытравливанием используя репроектор, таким образом позволяющ команде сформировать затейливые картины легко и быстро, так же, как регулирует их когда потребовано просто изменять картину репроектора.

Согласно исследователям, этот метод показывает посыл в в реальном масштабе времени контроле агрегата собственной личности nanotubes углерода или в контроле ошибки в крупносерийном производстве компьютерных микросхем. Он может облегчить чипмейкеры для того чтобы понизить длительность процесса и расходы непрерывно обеспечивать тарировку их оборудования.

Источник: http://www.illinois.edu

Last Update: 29. September 2012 08:57

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit