Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanofabrication

imec Introducerar Beställnings- LensletSamling för Avancerad Elektron Strålar Lithography

Published on November 6, 2012 at 4:42 AM

Imec meddelar att den har planlagt och fabricerat en elektrostatisk mikro-Lens (lenslet) samling för KLAs-Tencors förutsedda Reflekterande Elektron Stråla Lithography (REBL) bearbetar. REBL-teknologin möjliggör potentiellt en kickgenomgång e-strålar handstil som är processaa för maskless lithography. Lensletsamlingen är ett nyckel- del- för parallelizationen av den processaa e-stråla handstilen. Funktionsduglighet av lensleten gå i flisor visades i KLAs-Tencors REBL e-strålar kolonnen.

Lensleten består av en tätt packad samling av 4µm som djupt cylindriskt spela golfboll i hål med en diameter för 1,4 µm och bästa göra mellanslag av endast 200nm. Elektronen strålar att skriva in lensleten spela golfboll i hål fokuseras till och med en uppsättning av 4 ringer elektroder. Ringaelektroderna kan trimmas för att fokusera elektronen strålar, genom att applicera statisk elektricitetspänningar upp till 50V på ringaelektroderna. Bottnen av varje spela golfboll i hål består av ett litet belägger med metall pläterar som kan kopplas av en nedanför CMOS-strömkrets, endera reflektera eller absorbera de inkomma elektronerna. På så sätt strålar den inkomma elektronen delas in i 1 miljon mindre beamlets, en strategi som planläggs för att möjliggöra högre genomgång för denstråla handstilen som är processaa till och med parallelization.

Via dess CMORE serva, imecerbjudanden som alla företag servar behov att framkalla emballerade skräddarsy specialtymicrosystemprodukter. Imecs servar spänner från feasibilitystudier, design- och teknologiutveckling, att testa och pålitlighetsstudier, till fabriks- prototyping och låg-volym. Och till och med dess allianser, kan imec också erbjuda att en bana ska överföra teknologin till en gjuteri för volymproduktion.

CMORE-toolboxen innehåller en bred variation av apparatteknologier på 200mm liksom CMOS, Si-photonics, MEMS, avbildar specialtyen avkännare och att paketera.

”Kan Många företag gynna från specialtyhalvledareapparater för att förhöja och förhöjning funktionsdugligheten av deras utrustning; ” påstår Rudi Cartuyvels, Smart System för Vicepresident och EnergiTeknologi på imec. ”Behas Vi som vår halvledare och heterogena integrationssakkunskap, och vår tjänste- design och produktion, stöttade utvecklingen av KLAs-Tencors REBL bearbetar.”,

Last Update: 6. November 2012 05:27

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit