生产的可用半导体的 Nanowires 专有系统由第一纳诺

Published on July 17, 2007 at 12:26 AM

第一纳诺, CVD Equipment Corporation 部门今天宣布版本它是为生产半导体的 Nanowires 特别地设计的 ET2000-SS 和 ET3000-SS 固定的来源证言系统。

由材料做的单一水晶 nanowires 例如氧化锌 (Zno) 和镓氮化物 (GaN) 是研究员焦点许多年由于他们卓越的属性作为电子和光电子材料。

GaN 是为蓝色,绿色和紫外发光二极管 (LEDs) 和激光用于的半导体的材料。 蓝色 LEDs 也对待与当前用于手电、标志和其他照明设备应用的黄磷创建白光 LEDs。

ZnO 是为青 LEDs 和激光用于的半导体的材料和认为是较低花费的替代到 GaN。 ZnO 为做它在私有产品的引人入胜的紫外辐射也是著名的一种重要成份例如阻拦化妆水的化妆用品和星期日。

研究员能显示出,使用固定的来源例如镓和锌粉末请是较低花费和更加安全的替代对使用当前金属有机物蒸气证言化学气相沉积方法使用的常规金属有机 (MOCVD)来源制造的 LEDs。

迄今, GaN 和 ZnO nanowire LEDs 和激光是仅可能的在研究等级。 其中一个生产的更大的范例主要争论点是控制固定的来源 (锌或 Ga) 和这个范例的温度均一的温度。

存款的这些材料典型的进程称 “蒸气固定” (与)”或 “CVD 蒸气液体固定的” (VLS) 方法。 一旦 ZnO,这个来源被加热对 ~900o 摄氏汽化来源粉末,并且这个范例在这个温度下降到 ~800o 摄氏的房间安置。 在多数系统这留下这个基体的一不均匀的区,因此能将被安置的这个范例的非常缩小的过程区。

我们固定的来源证言系统特别地被设计适应 “蒸气固定” (与)”并且 “nanowire 证言蒸气液体固定的” (VLS) 方法。 此新的设计通过提供明显的温度区提供参考来源资料和基体温度均一的更好的温度控制并且分隔闭合电路温度控制系统。 以及 ET2000-SS 和 ET3000-SS 系统的增加的能力的被改进的温度控制是在带来这些卓越的材料的第一步给充分的生产级别。

Last Update: 14. January 2012 22:57

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