Tegal 收到努力的訂單在 PVD 字符串工具升級從專業功率管理元件組裝者

Published on January 15, 2009 at 5:46 PM

Tegal Corporation (那斯達克:TGAL),用於功率半導體、 MEMS 和光電子設備的生產的等離子銘刻一個主設計師和製造商和證言系統,今天宣佈公司收到了努力的一份訂單在 PVD 字符串工具升級從功率通信、家電和行業市場的管理要素一個主導的全球製造商。 在 PVD 系統升級的努力在第一季度將運送 CY2009 和由 Tegal 的客戶使用擴展現在運行在批量生產在這個客戶的國內, ISO 被確認的薄酥餅的稀薄的硅片後側方金屬化應用套件很好。

「我們的與處理這個優越的薄酥餅的客戶的成功的生產經驗,影片黏附力,并且努力的影片共晶創建功能在 PVD 系統的在稀薄的薄酥餅後側方金屬化應用導致此工具升級順序,并且我們高興地獲得了此重複商業」,說保羅 Werbaneth, Marketing, Tegal Corporation 副總統 -。 「一旦他們的在工具的努力被釋放到批量生產,我們的客戶看到了可示範的商業好處起因於運行在努力的 S 槍 PVD 進程在,并且,結果,現在決定升級他們的努力工具為了擴展這個系統的進程和生產功能」。

在系統的 Tegal 努力是用於生產 fabs 的科技目前進步水平,超高真空 PVD 字符串工具存款一致,高純度影片,與低到零的重點值,在一個非常乾淨的處理環境裡。 低重點影片廣泛使用在後側方金屬化為功率和分離設備,以下爆沸金屬化應用,提前的包裝,高亮光發光二極管 (乙肝 LEDs) 和在創建電聲的設備為 BAW、 FBAR 和 RF MEMS 應用。 努力在有一份易用 GUI, SECS/GEM 通信、處理可靠的低聯絡的薄酥餅和靈活的薄酥餅形狀和範圍功能,做超乾淨的生產環境的努力工具理想前側和後側方應用的。 選項無損的軟銘刻模塊和各種各樣的 DC、 AC 和 RF 磁控管配置,是可用飛濺許多另外用於半導體、 MEMS 和其他電子設備生產的電介質和導電性影片。

Last Update: 24. January 2012 07:18

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