Tegal Empfängt Ordnung für Cluster-Hilfsmittel Multi-Block DRIE 3200 vom GroßserienHersteller von MEMS-Fühlern

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Corporation (Nasdaq: TGAL), ein führender Designer und ein Hersteller von DRIE, eine Plasmaätzung und Absetzungsanlagen verwendet in der Produktion von MEMS, Leistungshalbleiter und optoelektronische Einheiten, heute angekündigt, dass die Firma eine Ordnung für ein Multiblock Tegal DRIE 3200 Clusterhilfsmittel von einem Großserienhersteller von MEMS-Fühlern empfing. Das Hilfsmittel Tegal DRIE 3200 versendet im Zweiten Quartal von CY2009 und wird von Tegals Abnehmer, um Fähigkeiten MEMS-Fühlers sofort zu erweitern ProduktionsHVM, verwendet und wichtige neue Fühlerprodukte später in CY2009 online zu holen.

„Dieses ist ein wichtiger Gewinn für Tegal Corporation und für unsere Fortgeschrittene ICP Anlage DRIE 3200 und bestätigt, wie es Tegals technische Führung DRIE und Tegals Mehrwert tut, die Abnehmer mit zuverlässigem versieht, Produktion-angemessene DRIE-Hilfsmittel und überlegene Nachverkäufe Kundenbetreuung,“ sagte Peter Dijkstra, Vizepräsident von Global Sales, Tegal Corporation. „Unser Abnehmer wählte Tegal nach einem Kopf-an-Kopf- Wettbewerb, der Prozessergebnisse des Silikons DRIE und Industriebezüge betreffend Ausrüsteransehen für Kundenbetreuung und Service wiegt. Unser Abnehmer schloss Tegals Wertvorschlag für DRIE-Cluster-Hilfsmittelanlagen ist an zweiter Stelle zu keinen in der Industrie, und wir freuen uns, für diese Hilfsmittelordnung des Silikons DRIE infolgedessen gewählt worden zu sein.“

MEMS-Fühlerherstellung wird erwartet, anhaltendes Wachstum in naher Zukunft zu zeigen, während MEMS-Fühler mehr und mehr im Smartphone, in der elektronischen, medizinischen Diagnose des Verbrauchers und in den Automobilanwendungen eingebettet werden. Das Aufbereiten des Silikons DRIE ist im Herzen der MEMS-Fühlerherstellung und wird auch eine in zunehmendem Maße wichtige Prozessanwendung für moderne Starkstromgerätfälschung.

Tegals Cluster-Hilfsmittelanlage DRIE 3200 ist ein Plasmaätzungshilfsmittel mit hoher Schreibdichte, das einen induktiv verbundenen Plasmaätzungsreaktor und magnetische eine Plasmabeschränkung kennzeichnet. Das Hilfsmittel kann Tegals patentiertes SCHARFES ausführen - den Super Hohen Längenverhältnis-Prozess und geätzte MerkmalsLängenverhältnisse von >100 erzielen: 1 in den Produktionsumgebungen. Zusammen mit seiner hohen Zuverlässigkeit fand breites Prozessfenster, und hohe Ätzung bewertet, ist die Anlage Tegal DRIE 3200 ein kritischer Enabler für die Ätzung des Silikons und des SOI, Substratflächen im MEMS/MOEMS, im Starkstromgerät, im photo-voltaischen, Biotech und Hallospannung Märkte.

Last Update: 4. June 2015 06:00

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