Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Tegal קיבלה הזמנה עבור כלי DRIE Multi-Module Cluster 3200 מיצרן בנפח גבוה של חיישני MEMS

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Corporation (nasdaq: TGAL) , מעצב ו יצרנית מובילה של DRIE, לחרוט פלזמה ומערכות בתצהיר המשמש בייצור של MEMS, מוליכים למחצה כוח, התקנים אופטו, הודיעה היום כי החברה קיבלה הזמנה עבור Tegal DRIE 3200 רב מודול באשכול כלי מהיצרן כמות גדולה של חיישני MEMS. כלי DRIE Tegal 3200 תושק ברבעון השני של CY2009, ויהיה בשימוש על ידי הלקוח Tegal מיד להרחיב MEMS חיישן HVM יכולות הייצור, ולהביא חשוב המוצרים החיישן החדש on-line בהמשך CY2009.

"זהו ניצחון חשוב עבור Tegal תאגיד עבור מערכת DRIE שלנו 3200 ICP מתקדם, המאשר כפי שהיא עושה DRIE הן של Tegal מנהיגות טכנית הערך המוסף של Tegal לספק ללקוחות אמין, ייצור ראוי כלים DRIE ותמיכה מעולה לאחר המכירה ללקוח," אמר פיטר דיקסטרה, סגן נשיא מכירות גלובליות, תאגיד Tegal. "הלקוחות שלנו בחרו Tegal לאחר תחרות ראש אל ראש שקילה סיליקון תוצאות DRIE תהליך והפניות לגבי תעשיית ספקית ציוד המוניטין עבור תמיכת לקוחות ושירות. הלקוחות שלנו סיכם הצעת הערך של Tegal כלי מערכות DRIE אשכול הוא ראשון במעלה בתחום, ואנחנו שמחים נבחרו כדי בכלי זה סיליקון DRIE כתוצאה מכך. "

חיישן ייצור MEMS צפוי להראות המשך צמיחה בטווח הקרוב, כמו חיישני MEMS להיות מוטבע יותר ויותר טלפונים חכמים, הצריכה האלקטרוניים, אבחון רפואי, הרכב יישומים. הסיליקון DRIE עיבוד בליבה של ייצור חיישן MEMS, הוא גם נהיה יישום התהליך חשוב יותר ויותר עבור ייצור החשמל המודרנית המכשיר.

DRIE של כלי Tegal 3200 מערכת מצרר הוא כלי בעל צפיפות גבוהה לחרוט פלזמה המציגים מצמידים אינדוקטיבי פלזמה הכור לחרוט הכליאה פלזמה מגנטי. הכלי יכול לרוץ פטנט SHARP של Tegal - יחס Super High תהליך הממדים, להשגת חרוט היבט תכונה יחסים של> 100:1 בסביבות ייצור. יחד עם אמינות גבוהה, חלון תהליך רחב, ושיעורי לחרוט גבוהה, מערכת DRIE Tegal 3200 הוא המאפשר קריטי עבור תחריט סיליקון SOI מצעים למצוא MEMS / MOEMS, מכשיר חשמל, פוטו, ביו טק, והיי המתח בשווקים.

Last Update: 4. October 2011 10:09

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit