Tegal Recebe o Pedido para a Ferramenta do Conjunto do Multi-Módulo de DRIE 3200 do Fabricante do Volume Alto de Sensores de MEMS

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Corporaçõ (Nasdaq: TGAL), um desenhista principal e um fabricante de DRIE, gravura em àgua forte do plasma, e uns sistemas do depósito usados na produção de MEMS, de semicondutor da potência, e de dispositivos optoelectronic, anunciados hoje que a Empresa recebeu um pedido para uma ferramenta do conjunto do multi-módulo de Tegal DRIE 3200 de um fabricante do volume alto de sensores de MEMS. A ferramenta de Tegal DRIE 3200 enviará no segundo trimestre de CY2009, e será usada pelo cliente de Tegal para expandir imediatamente capacidades da produção do sensor HVM de MEMS, e para trazer em linha produtos novos importantes do sensor mais tarde em CY2009.

“Esta é uma vitória importante para Tegal Corporaçõ e para nosso Sistema Avançado de DRIE 3200 ICP, confirmando como faz a liderança técnica do DRIE de Tegal e o valor adicionado de Tegal que fornecem clientes o seguro, ferramentas produção-dignas de DRIE e apoio ao cliente superior das cargo-vendas,” disse Peter Dijkstra, Vice-presidente de Global Vendas, Tegal Corporaçõ. “Nosso cliente escolheu Tegal após uma cara a cara competição que pesa resultados do processo do silicone DRIE e referências da indústria em relação às reputações do fornecedor do equipamento para o apoio ao cliente e o serviço. Nosso cliente concluiu a proposição do valor de Tegal para sistemas da ferramenta do conjunto de DRIE é em segundo a nenhuns na indústria, e nós somos satisfeitos ter sido escolhidos para este pedido da ferramenta do silicone DRIE em conseqüência.”

A fabricação do sensor de MEMS está esperada demonstrar no curto prazo o crescimento continuado, enquanto os sensores de MEMS se tornam encaixados cada vez mais no smartphone, no diagnóstico eletrônico, médico do consumidor, e em aplicações automotivos. O processamento do Silicone DRIE é no centro da fabricação do sensor de MEMS, e igualmente está transformando-se um pedido cada vez mais importante do processo para a fabricação moderna do dispositivo de potência.

O sistema da ferramenta do conjunto do DRIE 3200 de Tegal é uma ferramenta high-density gravura em àgua forte do plasma que caracteriza um reactor indutiva acoplado gravura em àgua forte do plasma e um confinamento magnético do plasma. A ferramenta pode executar o SHARP patenteado de Tegal - Processo Alto Super do Prolongamento, Conseguindo prolongamentos gravados da característica de >100: 1 em ambientes de produção. Junto com sua confiança alta, o indicador largo do processo, e gravura em àgua forte alta avalia, o sistema de Tegal DRIE 3200 é um enabler crítico para gravar o Silicone e o SOI carcaças encontrou no MEMS/MOEMS, no Dispositivo de Potência, no fotovoltaico, Biotech, e mercados da olá!-tensão.

Last Update: 14. January 2012 10:45

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