Tegal 从 MEMS 传感器大容积制造商收到 DRIE 3200 多模块字符串工具的订单

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal Corporation (那斯达克:TGAL),用于 MEMS、功率半导体和光电子设备的生产的 DRIE 一个主设计师和制造商,等离子铭刻和证言系统,今天宣布公司从 MEMS 传感器一个大容积制造商收到了 Tegal DRIE 3200 多模块字符串工具的一份订单。 Tegal DRIE 3200 工具在第二季度在 CY2009 将运送 CY2009 和由 Tegal 的客户使用立即扩展 MEMS 传感器 HVM 生产功能和在线带来重要新的传感器产品以后。

“这是一次重要胜利 Tegal 的 Corporation 和我们的 DRIE 3200 提前的 ICP 系统的,确认,它执行 Tegal 的 DRIE 技术领导和提供客户的 Tegal 的增值以可靠,生产值得的 DRIE 工具和优越之后销售额客户支持”,说彼得 Dijkstra, Global Sales, Tegal Corporation 的副总裁。 “我们的客户在斟酌硅 DRIE 进程结果和行业参考关于设备供应商名誉的势均力敌的竞争以后选择了 Tegal 在客户支持和服务上。 我们的客户推断 Tegal 的 DRIE 字符串工具系统的值提议是首屈一指的在这个行业,结果,并且我们高兴地为此硅 DRIE 工具顺序被选择了”。

当 MEMS 传感器在智能手机、消费者电子,医疗诊断和汽车应用,变得越来越埋置 MEMS 传感器制造预计在近期中展示持续的增长。 硅 DRIE 处理是在 MEMS 传感器制造中心和也成为对现代功率设备制造的愈加重要的处理申请。

Tegal 的 DRIE 3200 字符串工具系统是以引人地耦合的等离子铭刻反应器和磁性等离子分娩为特色的一个高密度等离子铭刻工具。 工具可能运行 Tegal 的给予专利的锐利 - 超级高长宽比进程,达到 >100 被铭刻的功能长宽比:1 在生产环境里。 与其高信度一起,清楚的处理视窗,并且高铭刻对估计, Tegal DRIE 3200 系统是铭刻的硅和 SOI 一个重要支持因素基体在 MEMS/MOEMS,功率设备,光致电压查找了,生物科技和喂电压市场。

Last Update: 4. June 2015 05:53

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit