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Tegal接收来自制造商的MEMS传感器的大批量订购的DRIE 3200多模块集群工具

Published on January 27, 2009 at 6:42 PM

Tegal公司(纳斯达克股票代码: TGAL),领先的设计和制造商的DRIE,等离子蚀刻,MEMS,功率半导体和光电子器件的生产中使用的沉积系统,今天宣布,该公司收到的订单为Tegal的DRIE 3200多从大批量制造商的MEMS传感器模块集群工具。 Tegal的DRIE 3200工具将在第二季度的CY2009船舶,并将于Tegal的顾客立即扩大MEMS传感器的HVM生产的能力,并带来了重要的新的传感器产品上线后在CY2009。

“这是一个为Tegal公司和我们的DRIE 3200高级ICP备系统的重要取胜,确认为它不都Tegal的DRIE技术的领导和Tegal的增加价值为客户提供可靠,生产,值得的DRIE工具和卓越的售后客户支持,”彼得的Dijkstra说,全球销售的副总裁,Tegal公司。 “我们的客户选择Tegal重硅DRIE工艺结果和行业的引用,客户支持和服务的设备供应商的声誉后,头对麦芒的竞争。我们的客户结束Tegal的DRIE集群工具系统的价值主张是第二个在行业中首屈一指的,我们很高兴已经选择了这种硅的DRIE工具为了结果。“

MEMS传感器制造,预计在短期内表现出的持续增长,MEMS传感器变得越来越嵌入在智能手机,消费电子,医疗诊断,和汽车应用。硅的DRIE加工是MEMS传感器制造的心脏,也成为一个日益重要的现代电力设备制造过程中的应用。

Tegal的DRIE 3200集群工具系统是一个高密度等离子体刻蚀工具,采用电感耦合等离子蚀刻反应器和磁等离子体约束。该工具可以运行Tegal的专利夏普 - 超高长宽比工艺,在生产环境中实现的功能蚀刻纵横比> 100:1。连同其高可靠性,广泛的工艺窗口,和高蚀刻率,Tegal的DRIE 3200系统是一个发现的微机电系统/微光机电系统,功率器件,光电,生物科技,您好,刻蚀硅和SOI衬底的关键推动者电压的市场。

Last Update: 10. October 2011 13:31

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