Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

University of Tokyo Places Order for fotoresist Utvikler fra EV Group

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

EV Group (EVG) , en ledende leverandør av wafer liming og litografi utstyr for MEMS, nanoteknologi og halvledere markeder, kunngjorde i dag at de har mottatt en ordre for sitt EVG101D, en fotoresist utvikleren, fra University of Tokyo. En første gang for seier fra universitetet, vil EVG er verktøy skal installeres på en super-clean room (klasse 1) i Takeda Sentanchi Building ved universitetets fasiliteter.

En allsidig R & D-systemet, EVG101D forsterker en eksisterende utbygger ved universitetet og vil bli brukt til å utvikle 100 nm og mindre mønstre på masker og wafere opp til 200 mm på forskning anlegget. Mønstrene vil bli skapt av e-litografi system fra VLSI Design og Education Center (VDEC).

"Dette utvikler fra EVG vil tillate oss å redusere mengden av kjemikalier som kreves i å utvikle prosessen, og gi en samlet kostnadsreduksjon for oss," sier professor Yoshio Mita fra University of Tokyo.

"The EVG100 serien er et fleksibelt verktøysett som kan bli endret for å tjene som en spray eller spin coater, som er ideelt for et FoU-miljø. I tillegg er dette fotoresist prosessering serien i stand til belegg mønstrede wafers, som er egnet for MEMS produksjon, "sa Yuichi Otsuka, representant direktør EV Group Japan KK

Universitetet i Tokyo har etablert en avansert forskning anlegget dedikert til ultra-fine litografi / nanomeasurement. Den sofistikerte senteret gjør deres ledende FoU-verktøy for nanoprocessing og nanomeasurement tilgjengelig for offentlige og private bedrifter så vel som offentlig institusjon forskere. Siden etableringen i 2007 har disse enhetene brukt senterets high-throughput nanolithography og nano-målesystemer, samt dens super oppløsning overføring elektronmikroskop og et utvalg av produksjonssystemer atypisk til halvledere enhet produksjon. Anlegget gir også støperi og analyser tjenester, med universitetsansatte på hånd å støtte. For mer informasjon, vennligst besøk: www.nanotechnet.tu-tokyo.ac.jp

Last Update: 23. October 2011 20:51

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit