Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Universitetar av Tokyo Förlägger Beställer för PhotoresistBärare från EV-Gruppen

Published on March 17, 2009 at 6:30 PM

EV-Gruppen (EVG), en ledande leverantör av rånbindningen och lithographyutrustning för MEMSEN, nanotechnology och halvledaren marknadsför, i dag meddelat, att de har mottagit en beställa för dess EVG101D, en photoresistbärare, från Universitetar av Tokyo. EnTime beställer segern från Universitetar, EVG bearbetar ska installeras på ettrengöring rum (Klassificera 1), i den Takeda Sentanchi Byggnaden på Universitetar lättheter.

Ett mångsidigt R&D-system, EVG101DEN ökar en existerande bärare på Universitetar och ska är van vid framkallar 100 nm, och mindre mönstrar maskerar på och en mm 200 för rån upp till på forskninglättheten. Mönstrar ska skapas by e-strålar lithographysystemet från VLSI-Designen, och Utbildning Centrerar (VDEC).

”Låter ger Denna bärare från ska EVG oss förminska beloppet av kemikalieer som krävs i den processaa framkallningen och en overall kostar förminskning för oss,”, sade Professorn Yoshio Mita från Universitetar av Tokyo.

”Är serien EVG100 en böjlig toolset som kan ändras till serven som en sprej- eller snurrandecoater, som är ideal för en R&D-miljö. Dessutom, är denna photoresist som bearbetar serie, kapabel av att täcka mönstrade rån, som är passande för MEMS-produktion,” sade Yuichi Otsuka, Representativ Direktör av EV-Gruppen Japan K.K.

Universitetar av Tokyo har etablerat en hängiven ultra-bot för avancerad forskninglätthet lithography/nanomeasurement. Det sofistikerat centrerar gör deras framkantR&D bearbetar för nanoprocessing och nanomeasurementen som är tillgängliga till allmänhet och privatägt företag såväl som regerings- institutionforskare. Efter dess etablering i 2007 har dessa enheter använt mittens systemen för dengenomgång nanolithographyen och nano-mätningen, såväl som dess toppna mikroskop för upplösningsöverföringselektron och en variation av fabriks- system som är atypical till produktionen för halvledareapparaten. Lättheten ger också gjuterit, och analyser servar, med universitetar bemannar räcker på till service. Behaga besök För mer information: www.nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp

Last Update: 24. January 2012 13:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit