Zusammenarbeit JSRS mit SEMATECH-Hilfen, zum von Nanoelectronics-Innovationen Zu Treiben

Published on May 12, 2010 at 7:42 AM

SEMATECH, ein globales Konsortium von Chip-Herstellern und JSR Corporation, ein Lieferant des fortgeschrittenen Werkstoffs zu den Chip-Herstellern und zu anderen und seine US-Operation, JSR Micro, Inc. kündigten heute an, dass es dem neuesten Bauteil Photoresists SEMATECHS und des Entwicklungszentrums (RMDC) am College von Nanoscale-Wissenschaft und von Technik (CNSE) der Universität in Albanien gestanden hat.

JSR arbeitet mit SEMATECH-Ingenieuren auf Taste widerstehen Punkten in der extremen ultravioletten (EUV) Lithographie zusammen. Schwerpunkte umfassen:

  • Das Arbeiten, zum der Zeile zu verringern oder zu beseitigen umranden Rauheit (LER) in den lithographischen Bildern unter 22 nm
  • Entdeckung der entscheidenden Auflösung der eben formulierten Photoresists
  • Prüfende verschiedene Darstellungsmaterialien für EUV-Empfindlichkeit

SEMATECH und JSR haben sich vorher in einigen TechnologieEntwicklungsprogrammen, einschließlich 300 mm-Prüfungswafers, niedrig--K Filme zusammengetan, und vorangebracht widersteht, einschließlich Doppelbelichtungsmaterialien.

„Wir haben eine erfolgreiche Geschichte der Partnerschaft mit SEMATECH und wir werden erregt, um diese Geschichte auf dem Gebiet von EUV fortzusetzen,“ sagte Hozumi Sato, Direktor von JSR Corporation, verantwortlich für die Forschung und Entwicklung. „Betriebsmittel Zu Kombinieren um nächste Generation von EUV-Materialien zu erstellen ist für JSR und SEMATECH nicht nur gut, aber wird fördern die Industrie als Ganzes.“

„Wir freuen uns, mit JSR in unserer gegenseitigen Bemühung zu arbeiten, führendes zu entwickeln widerstehen und Materialien und beschleunigen Prozessverfügbarkeit für Steuerleitung Herstellung EUV,“ sagte John Warlaumont, Vizepräsident der Neuen Technologie an SEMATECH. „Unsere erfolgreiche Erfahrung in unseren vorhergehenden Partnerschaften trägt groß zu Wirksamkeit RMDCS.“ bei

„Der Zusatz von JSR zum Register von Weltkonzernen an Komplex Albaniens NanoTech CNSES erhöht weiter die SEMATECH-CNSE Partnerschaft, wenn er führende nanoelectronics Innovationen treibt,“ sagte Richard Brilla, CNSE Vizepräsident für Strategie, Bündnisse und Konsortien. „Diese Zusammenarbeit aktiviert Fortschritte in einem Hauptrechner von Technologien, einschließlich EUV-Lithographie, die sind kritisch zur Industrie.“

Quelle: http://www.sematech.org/

Last Update: 12. January 2012 08:43

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