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SOKUDO는 여러 전자 빔 리소그래피 프로그램 가입

Published on September 17, 2010 at 4:59 AM

SOKUDO 주식 회사, 리소그래피 코트 / 트랙을 개발, 공정 장비, 합작 회사, 그리고 CEA - 레티 오늘 SOKUDO는 IC 제조에 대한 maskless 리소그래피를 개발하고있는 새로운 산업 / 연구 다중 파트너 프로그램 상상에 참가한다고 발표했다.

3 년 프로젝​​트는 CEA - 레티, 선두 프랑스어 반도체 연구소가 주도하고, 또한 반도체 제조 업체 TSMC와 ST 마이크로 일렉트로닉 스를 포함하고 있습니다. 그것은 maskless 리소그래피 인프라와 높은 처리량에 대한 매퍼 리소그래피 도구의 사용을 평가하고있다. 여러 전자 빔 리소그래피 - 프로그램 도구 평가, patterning 및 프로세스 통합, 데이터 처리, 프로토 타입 및 비용 분석 등 기술에 대한 세계적인 접근 방식을 다루고 있습니다.

"e - 빔이 논리 / 파운드리 반도체 제조 많은 서브 22nm 리소그래피 프로세스 계층에 대한 실질적인 기술이 될 수있는 잠재력을 가지고,"Tadahiro Suhara, SOKUDO 사장 겸 CEO는 말했다. "SOKUDO는 침지 멍멍 리소그래피 확장, EUV 및 전자 빔 리소그래피를 포함하여 여러 하위 22nm 리소그래피 기술에 코트 / 개발 트랙 과정 준비를 위해 준비가되기 위해서 포괄적인 접근 방식을하고있다. CEA - 레티는 협업이 함께 서브 22nm 공정 개발에 중요한 여러 저항 제조 업체를 포함하여 생산 가치 전자 빔 리소그래피를 활성화하기 위해 집중적인 노력을 제공 상상해보십시오. "

"우리는 수년 동안 SOKUDO의 RF3 코트 앤 발전 추적 시스템에 근무하고 상상 프로그램 maskless 기술을 지원하는 데 필요한 프로세스를 개발 강한 지식과 SOKUDO의 지원 혜택을 누릴 것이다"방탄복 Tedesco, CEA - 레티는 말했다 프로그램 매니저. "e - 빔 기술 CEA - 레티의 경험은 여러 e - 빔 리소그래피에 필요한 프로세스 인프라를 확보 도움이 될 것입니다 SOKUDO의 코트와 - 개발 트랙 전문성과 함께."

델프트, 네덜란드에 본사를 둔 매퍼 리소그래피 BV은, 반도체 산업의 maskless - 리소그래피 머신을 만듭니다. 그것은 대규모 병렬 전자 - 빔 플랫폼과 상상 프로젝트를 지원합니다.

출처 : http://www.leti.fr/

Last Update: 3. October 2011 23:30

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