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La Microscopia de Carl Zeiss Lanza la Herramienta del Haz del Multi-Ión de Orión NanoFab en el EMC

Published on September 17, 2012 at 6:09 PM

La Microscopia de Carl Zeiss introdujo el ORIÓN NanoFab en el Congreso Europeo de la Microscopia (EMC) en Manchester, REINO UNIDO. Es la primera herramienta del multi-ión-haz basada en tecnología de la Fuente de Ión (GFIS) del Yacimiento de Gas.

Como aumento importante al microscopio de ión existente del helio, ORIÓN NanoFab también utiliza los iones de neón. El sistema es por lo tanto capaz de proporcionar a una solución completa de la proyección de imagen de la nanofabricación y del sub-nanómetro del nanómetro sub-10 para la industria, el gobierno, y los laboratorios de investigación académicos. Una olumna enfocada galio opcional del haz (FIB) de ión puede también ser integrada.

ORIÓN NanoFab de la Microscopia de Carl Zeiss

“Este instrumento ofrece la resolución espacial del sub-nanómetro acoplada con una profundidad del campo extremadamente alta, para el estudio de una amplia variedad de materiales tales como materias primas del carbón, los copolímeros, y las estructuras del dispositivo, y también ofrece las opciones para una variedad de técnicas microanalíticas avanzadas,” dice al Dr. David Joy, Científico Distinguido en el Centro para la Ciencia Material de Nanophase (CNMS), Laboratorio Nacional de la Oak Ridge. CNMS en el Laboratorio Nacional de la Oak Ridge (ORNL) es un Ministerio de Energía/Oficina del Centro de Investigación de la Ciencia de Nanoscale de la Ciencia (NSRC).

El haz de ión de neón ofrece las capacidades exactas el labrar a máquina y de la nanofabricación debidas más arriba chisporrotear rendimientos en el haz de ión que friesa y más rápidamente resistir la exposición en litografía del haz de ión. El haz de ión del helio permite la nanofabricación de sub-10 nanómetro así como la capacidad de alta resolución de la proyección de imagen en el mismo instrumento. La olumna avanzada opcional de la BOLA del galio permite retiro material masivo. Esto hace ORIÓN NanoFab la plataforma más versátil de la nanofabricación y de la proyección de imagen disponible.

“Finalmente he encontrado el sistema que buscaba los últimos cinco años,” digo al Dr. Qianjin Wang del Departamento de la Física en la Universidad de Nanjing en China. “Como utilizador de la BOLA del galio por más allá de diez años, asierro al hilo afortunado que estaré en la vanguardia de la revolución en el nanoworld como me centro en mi investigación sobre las propiedades ópticas de las estructuras artificiales del nanoscale.”

“Somos muy emocionados sobre todos los aspectos de ORIÓN NanoFab.” dice a Michael Phaneuf, Presidente de Fibics Incorporó, una compañía de revelado de aplicaciones de FIB/SEM establecida en Ottawa, Canadá en 1997. “La evolución a esta herramienta del helio-neón-galio de la generación es verdad impresionante. Las posibilidades de la nanofabricación de la multi-escala que combina los tres haces son verdad notables, y las aplicaciones que implican proyección de imagen de alta resolución con helio y neón ahora están comenzando solamente a ser observadas. Somos impacientes al revelado de aplicaciones de comienzo en esta plataforma, y vemos donde lleva.”

Last Update: 17. September 2012 18:24

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