Ehren ENIAC JU VERBESSERN und OBJEKTIV Projekte für Nanotechnologie-Innovation

Published on November 22, 2012 at 4:37 AM

Zwei Forschungsprojekte mit einem kombinierten Budget, das 70 Million Euro erzielten beträchtlichen Fortschritten in der Halbleiterproduktionsleistung sich nähert und sind mit dem 2012 INNOVATIONS-PREIS ENIAC JU am Europäischen Nanoelectronics-Forum erkannt worden.

Die VERBESSUNGS-Projektpartner entwickelten Computerbaumuster für Gerätenverhalten und -geschichte, virtuelle Metrologie, vorbestimmte Pflege und ACpläne aktivierend, Durchsatz, Stabilität und Reproduzierbarkeit und die tolle Leistungsfähigkeit beträchtlich zu verbessern des Gesamtwafers. Francois Finck von STMicroelectronics, der Projektkoordinator, sagte: „VERBESSERN Sie Herein, sechs Hersteller mit Operationen in Europa zusammenarbeitete mit 14 Forschungslabor-, Institutions- und akademischen, und 10 industriellenlösungsanbietern, um das hochmoderne in den Fertigungswissenschaften beträchtlich voranzubringen und fertig zu werden zu konkurrieren basiert auf Leistungsfähigkeit und Innovation“.

Im OBJEKTIV basierten die fortgeschrittene Auslegung 12 Partner beträchtlich, die Masken, die Metrologie, das Berührungshilfsmittel, die Materialien und die Prozessintegration unter Verwendung der Doppelbelichtung für Anlagen auf Chip und Distanzstück den Abstand, der damit Phasenänderungsspeicher die Anwendbarkeit der obliegenden Immersionslithographietechnologie sich verdoppelt, ausdehnen. Gerold Alberga von ASML, der Projektkoordinator, sagte: „OBJEKTIV deckte die ganze Lithographieversorgungskette ab und demonstrierte die kopierenden Auflösungen, die mit den 32 - Knotenpunkte der Technologie 22nm für Speicher- und Digitalbausteine unter Verwendung der Immersionsberührungshilfsmittel kompatibel sind, dadurch es erlaubt es die fristgerechte und wirtschaftlich effiziente Entwicklung der nächsten Generationen der Halbleiterbauelemente“.

Die Projekte empfangenen Bewilligungen vom ENIAC JU und die ENIAC-Mitgliedsstaaten (VERBESSERN Sie: Österreich, Frankreich, Deutschland, Irland, Italien und Portugal; OBJEKTIV: Belgien, Frankreich, Italien, Spanien und die Niederlande).

Wilder Andreas, Geschäftsführer ENIAC JU, sagte: „VERBESSERN Sie und OBJEKTIV sind in der offenen und wettbewerbsfähigen Ausschreibung ab 2008 ausgewählt worden und kamen zur Fertigstellung dieses Jahr. Zwischen 2008 und 2011 startete das Programm ENIAC JU 40 Projekte mit den kombinierten Budgets, die 1 Milliarde Euros überschreiten und bestätigte die beträchtliche Auswirkung, die öffentlich-private Partnerschaften haben auf dem Funken der Innovation.“

Nach der gleichen Gelegenheit stellte der EUREKA-Cluster CATRENE seinen Innovations-Preis dem Projekt EXEPT dar.

Quelle: http://eniac.eu/

Last Update: 22. November 2012 05:32

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