Novo Tipo de Brilho Alto, de Fontes Luminosas do Espectro Contínuo A Ser Usados na Espectroscopia, de Imagem Lactente Biológica, de Investigação Científica ou de Teste do Fotoresistente

Published on February 21, 2008 at 11:30 AM

Energetiq Tecnologia, Inc., um revelador e fabricante de produtos especializados da luz do curto-comprimento de onda para aplicações da tecnologia avançada, introduzirá uma tecnologia revolucionária na Conferência Avançada 2008 SPIE da Litografia, os 26-27 de fevereiro, que permite fontes luminosas de conseguir o brilho alto e a potência extremos sobre a escala espectral a mais larga. O LDLS (TM) Fonte Luminosa Laser-Conduzida é personificado no EQ-1000, o primeiro em uma série de produtos claros de fácil utilização, compactos que podem ser usados em uma variedade de aplicações. O EQ-1000 pode ser configurado para o espectro largo output na espectroscopia, na imagem lactente biológica, e na investigação científica geral, ou para a saída espectral de faixa estreita específica, tal como 193nm para o teste do fotoresistente.

Um único EQ-1000 Fonte Luminosa Laser-Conduzida LDLS cobre comprimentos de onda de 170nm além da luz e da potência brilhantes visíveis, ao alcançar excepcionais a níveis que excedem aqueles de lâmpadas do deutério e em uma fracção do custo do excimer ou dos outros lasers de DUV. O EQ-1000 inteiramente integrado, que incorpora sistemas óticos claros da coleção e uma fonte de alimentação, oferece uma escolha da banda estreita ou da saída óptica de faixa larga, permitindo a flexibilidade para os clientes que precisam uma longa vida, a fonte luminosa alta de brilho, estreita ou de faixa larga a preço econômico.

De “a tecnologia LDLS é nossa inovação mais nova nos produtos avançados da fonte luminosa que permitem a produção dos dispositivos da nano-escala da próxima geração do mundo,” disse Paul Blackborow, CEO de Energetiq. “Construção em cima de nossa experiência no brilho alto seguro EUV e na ciência da fonte luminosa do poder superior DUV, nós somos excitados para oferecer esta tecnologia inovador que permite um nível tão superior de brilho sobre uma escala espectral muito larga. Esta tecnologia é personificada em nosso EQ-1000 Fonte Luminosa Laser-Conduzida LDLS, a primeira fonte do mundo de potência verdadeiramente de faixa larga de DUV-VIS. Agora, os pesquisadores que precisam o brilho alto, luz UV do poder superior podem usar uma única fonte de UV-VIS, dando lhes uma alternativa eficaz na redução de custos a comprar e a operar lâmpadas ou lasers múltiplos.”

O EQ-1000 compacto integra facilmente em ferramentas do processo e em instrumentos analíticos. Usa um bulbo selado do gás do Xénon, ao contrário dos lasers do excimer que exigem a instalação de gáss tóxicos. A tecnologia laser-conduzida proprietária do bulbo é aperfeiçoada para o brilho superior e a vida de funcionamento longa.

Last Update: 14. January 2012 21:57

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