Tegal는 LED 제조자 지도에서 901ACS 플라스마 식각 시스템을 위한 수행 명령을 수신합니다

Published on November 13, 2008 at 10:27 AM

Tegal Corporation (NASDAQ: TGAL), 주요한 opto 반도체/LED 제조자에서 Tegal 추가 901ACS 부대를 위한 다른 수행 명령을 수신했다는 것을 LEDs 의 MEMS, 직접 회로 및 오늘 알려지는 나노 과학 장치의 생산에서 이용되는 플라스마 식각의 수석 디자이너 및 제조자 및 공술서 시스템. 새로운 901ACS 시스템은 점화 및 광학적인 센서 장치 생산을 위한 고객의 수용량 확장을 지원하고, 고객의 지금 이 응용을 위해 사용되는 Tegal 900ACS 시리즈 플라스마 식각 시스템의 존재 설치된 기지에 추가합니다.

"Tegal 900ACS 공구 우리의 고객 완전하게, 그것의 단 하나 웨이퍼 식각 윤곽과 더불어, LEDs 날조의 업무에 향상한 제조 정밀도를 가져옵니다,"는 말했습니다 Etch Products, Tegal Corporation John Almerico, Marketing Director를, 이해합니다. "향상한 제조 정밀도는 더 나은 가공 재현성, 더 나은 제조 재현성이, 더 높은 장치 열매를 산출하는 때 변환하고, 우리의 고객의 fabs에 있는 플라스마 식각 응용을 위한 경영비를 낮춥니다. 그것은이고 우리의 고객이 즉시 가지고 있는, 탁월한 가치 건의안 반복적으로, 사."

Tegal 901ACS는 Tegal에 의해 일어난 일련의 capacitively 결합한 다이오드 플라스마 식각 시스템, 상업적인 단 하나 웨이퍼 플라스마 에칭에 있는 기업 개척자에서 최신입니다. 900의 시리즈에 있는 1,500의 시스템 이상 현재까지 발송되, 믿을 수 있고는 비용 효과적인 지원을 플라스마 식각 프로세스의 광범위를 제공하. Tegal 900ACS 시리즈는 패드, 영 층, 비 선택적인 질화물, 후부 및 planarization 에칭, 뿐 아니라 감광저항 descum, 산화물, 질화물, 많은, 및 HB-LED, 광전자 공학, TFH 및 MEMS 장치 제작을 위한 합성 물자 응용 낙관됩니다. 그들의 그밖 특징, Tegal 900ACS와 980ACS 시리즈 플래트홈 사이에서 강력하게 opto에서 찾아낸 75 mm에서 200 mm 라운드, 정연한 또는 직사각형 기질을 수용할 수 있는 생산 증명한 수송 시스템, TFH 및 MEMS 시장을 통합하십시오.

무제한 LED 시장 조사 단체 전략에 따르면, HB LEDs는 자동 시장 그리고 표시와 전시를 위한 점화에서 신호, 표시기 및 외부와 실내 조명을 위한 이동할 수 있는 기구 그리고 노트북 컴퓨터를 위한 전시 역광 조명과 같은 높 시정 응용에서 점점, 배치되고 있습니다. LED 점화 시장은 무제한 전략에 의해 다음 십년간에서 LEDs가 산업과 소비자 조명 응용에서 점점 편재하 되는 때, 오늘에서 이중 숫자 비율로 처음부터 끝까지 증가하기 위하여 일찌기 계획됩니다.

Last Update: 14. January 2012 18:41

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