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세미 자동 핫 엠보싱 시스템 - EV 그룹에서 EVG520HE

EVG520HE 세미 자동 핫 엠보싱 시스템은 응용 프로그램을 엠보싱 및 nanoimprinting을 위해 설계되었습니다. EVG의 이러한 생산 시스템은 입증된 200mm로 기판을 허용하고 표준 반도체 제조 기술과 호환됩니다.

핫 엠보싱 시스템은 범용 엠보싱 챔버, 높은 진공, 높은 온도와 높은 연락처 강제 기능 구성 및 고분자 및 핫 엠보싱에 적합한 여러 안경의 전체 범위를 관리하고있다. 함께 높은 가로 세로 비율 엠보싱 및 여러 드 엠보싱 옵션을 사용하여 고품질의 패턴 전송 및 NM 해상도 많은 프로세스가 제공됩니다.

특징 EVG520HE 세미 자동 핫 엠보싱 시스템은 다음과 같습니다

  • 폴리머 기판과 고분자 및 안경 스핀 - 온의 핫 엠보싱 및 nanoimprinting 어플 리케이션을 위해
  • 자동 엠보싱 처리
  • 광학 정렬 엠보싱 및 각인에 대한 EVG의 독점 별도의 정렬 작업
  • 공압 드 엠보싱 옵션
  • 소프트웨어 제어 프로세스 실행
  • UV 대 0 옵션

Last Update: 9. October 2011 03:16

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