ליתוגרפיה אוטומטי UV-אפס מערכת Nanoimprint - Aligner IQ מ EV הקבוצה

ליתוגרפיה אוטומטי UV-אפס מערכת Nanoimprint - Aligner IQ מ EV הקבוצה

Aligner Nanoimprint IQ ליתוגרפיה סגול (UV-אפס) המערכת מאפשרת micromolding ו nanoimprinting תהליכים עם בולים ופלים מ 150 מ"מ בקוטר 300 מ"מ. כוח מגע אחיד עבור הדפסה אזור תשואה גבוהה גדול מסופק על ידי עיצוב קניינית צ'אק EV של הקבוצה התומכת בולים הן רכות וקשות. תצורות כוללות מנגנוני שחרור בולים מצעים המוטבע.

תכונות של מערכת Aligner UV-IQ אפס

  • עבור יישומים micromolding של אלמנטים אופטיים
  • עבור יישומים nanoimprinting מלא בשדה
  • 3 מבוקר באופן עצמאי Z-spindles לפיצוי מעולה טריז בין הבול לבין המצע
  • 3 מבוקר באופן עצמאי Z-spindles עבור TTV השליטה חותם להתנגד
  • Soft-UV אפס תהליכי ניצול בולים עובד רך
  • קניינית אוטומטי לחלוטין EVG של דה הבלטות פונקציה
  • להתנגד לוותר שילוב תחנת
  • יישור UV-מליטה בונד יכולות

Last Update: 10. October 2011 16:00

Other Equipment by this Supplier