Die Unendlichkeit automatisierte nanoimprint EVG6200 Lithographieanlage ist der Höhepunkt neuer Straßenkarte die Ausrichtungstransporttechnologie EV-Gruppe. Eine Vielzahl von Stempeln und von Substratflächengrößen von 75mm-zu-200mm kann auf der Unendlichkeit EVG6200 für nanoimprint Lithographieanwendungen angepasst werden.
Kennzeichnet die Unendlichkeit automatisierte NULL EVG6200 Anlage
- Nanoimprint-Lithographie und Mikrokontaktbelichtung
- UV-Licht-Berührung
- Engagiertes Fertigungsmittel für UV-NIL
- Beilegung von weichen und harten Stempeln
- Baumuster von Substratflächen: Si, Glas, Verbindungshalbleiter