Automatisierte Nanoimprint-Lithographie-Anlage - die Unendlichkeit EVG6200 von EV-Gruppe

Die Unendlichkeit automatisierte nanoimprint EVG6200 Lithographieanlage ist der Höhepunkt neuer Straßenkarte die Ausrichtungstransporttechnologie EV-Gruppe. Eine Vielzahl von Stempeln und von Substratflächengrößen von 75mm-zu-200mm kann auf der Unendlichkeit EVG6200 für nanoimprint Lithographieanwendungen angepasst werden.

Kennzeichnet die Unendlichkeit automatisierte NULL EVG6200 Anlage

  • Nanoimprint-Lithographie und Mikrokontaktbelichtung
  • UV-Licht-Berührung
  • Engagiertes Fertigungsmittel für UV-NIL
  • Beilegung von weichen und harten Stempeln
  • Baumuster von Substratflächen: Si, Glas, Verbindungshalbleiter

Last Update: 11. January 2012 06:18

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