EVG6200 אינפיניטי ליתוגרפיה אוטומטית מערכת nanoimprint הוא שיאו של מפת הדרכים החדשה aligner טכנולוגיה EV של הקבוצה. מגוון רחב של בולים וגדלים מצעים מ 75mm ל-200mm ניתן לאכלס על אינפיניטי EVG6200 עבור יישומים nanoimprint ליתוגרפיה.
התכונות EVG6200 אינפיניטי מערכת אוטומטית אפס
- Nanoimprint ליתוגרפיה והדפסה קשר מיקרו
- חשיפה לאור UV
- נוסע ייעודיים עבור UV-אפס
- לינה של בולים הן רכות וקשות
- סוג של מצעים: Si, זכוכית, מתחם מוליכים למחצה