El Sistema Automatizado EVG540 de la Vinculación del Fulminante es un bonder unicameral automatizado de la producción diseñado para la línea experimental y la fabricación así como R&D para la fabricación en grandes cantidades en el Empaquetado Nivelado del Fulminante, 3D-Interconnect y aplicaciones de MEMS. De Acuerdo con diseño modular el EVG540 proporciona a una solución probada para la transición posterior de los procesos de la vinculación del fulminante del escenario del R&D a la fabricación en grande en nuestros sistemas completo integrados de la vinculación de la producción.
Características del Sistema Automatizado EVG540 del Bono del Fulminante
- tramitación Completo-Automatizado con el cargamento automatizado y descarga de mandriles en enlace
- Único bonder de la producción del compartimiento
- Manipulación Automática de hasta cuatro mandriles en enlace
- Obediente a los altos patrones de seguro
- Diseño en enlace Modular del compartimiento
- Enfriamiento lateral inferior Activo
Pliegos De Condiciones del Sistema Automatizado EVG540 del Bono del Fulminante
- Talla del Calefactor = diámetro Máximo del fulminante: 150 milímetros, 200m m, 300m m
- Diámetro Mínimo del fulminante: calefactor de 150m m: 50m m; calefactor de 200m m: 100m m, calefactor de 300m m: 200m m
- Sistema En Enlace del mandril/sistema de la Alineación:
- calefactor de 150m m: EVG620, EVG6200, Alineador del ÍNDICE DE INTELIGENCIA, SmartView
- calefactor de 200m m: EVG6200, Alineador del ÍNDICE DE INTELIGENCIA, SmartView
- calefactor de 300m m: Alineador del ÍNDICE DE INTELIGENCIA, SmartView
- Fuerza Máxima del contacto: 3.5kN, 7kN, 10 kN, 20 kN, 40 kN, kN 60
- Temperatura Máxima: 550°C (600°C opcional)
- Vacío: 1E-3 mbar (estándar), 1 E-5 (opcional), controlador aéreo del vacío y líneas de gas del proceso opcionales
- Fuente de Alimentación para la vinculación anódica: 0-2.000V/50mA
- Compartimiento del Cargamento: robot triaxial
- Proceso (receta) compatible con los GÉMINIS
- Número Máximo de compartimientos en enlace: 1
- Cliente/aplicación: piloto-línea +manufacturing, fabricación en grandes cantidades