Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Wafer Bonders

EVG540 het Geautomatiseerde Systeem Plakkend van het Wafeltje van Groep EV

Het EVG540 Geautomatiseerde Systeem Plakkend van het Wafeltje is een geautomatiseerde single-chamber productie bonder dat voor proeflijn en productie wordt ontworpen evenals R&D voor hoog volume productie in de Verpakking, het 3D-Interconnect en de toepassingen MEMS van het Niveau van het Wafeltje. Gebaseerd op modulair ontwerp verstrekt EVG540 een bewezen oplossing voor recentere overgang van wafeltjeprocessen plakkend van het stadium van R&D aan productie op grote schaal op onze volledig geïntegreerde productiesystemen plakkend.

Eigenschappen van het EVG540 Geautomatiseerde Systeem van de Band van het Wafeltje

  • Volledig-Geautomatiseerde verwerking met geautomatiseerde lading en het leegmaken bandklemmen
  • Enige kamerproductie bonder
  • Automatische behandeling van zelfs vier bandklemmen
  • Volgzame aan hoge veiligheidsnorm
  • Het Modulaire ontwerp van de bandkamer
  • Het Actieve bodem zij koelen

Specificaties van het EVG540 Geautomatiseerde Systeem van de Band van het Wafeltje

  • De grootte van de Verwarmer = Max. wafeltjediameter: 150 mm, 200mm, 300mm
  • Min. wafeltjediameter: 150mm verwarmer: 50mm; 200mm verwarmer: 100mm, 300mm verwarmer: 200mm
  • De klemsysteem van de Band/het systeem van de Groepering:
  • 150mm verwarmer: EVG620, EVG6200, Aligner van de IQ, SmartView
  • 200mm verwarmer: EVG6200, Aligner van de IQ, SmartView
  • 300mm verwarmer: Aligner van de IQ, SmartView
  • Max. contactkracht: 3.5kN, 7kN, 10 kN, 20 kN, 40 kN, kN 60
  • Max. temperatuur: 550°C (facultatieve 600°C)
  • Vacuüm: 1E-3 mbar (norm), 1 e-5 (facultatief), vacuümcontrolemechanisme en facultatief procesgasleidingen
  • De levering van de Macht voor het anode plakken: 0-2.000V/50mA
  • De kamer van de Lading: robot met 3 assen
  • Van het Proces (recept) het compatibele systeem met TWEELING
  • Max. aantal bandkamers: 1
  • Klant/toepassing: proef-lijn +manufacturing, hoog volume productie

Last Update: 8. June 2012 10:35

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment