Posted in | Wafer Bonders

Автоматизированная EVG540 Система Связи Вафли от Группы EV

Автоматизированная EVG540 Система Связи Вафли от Группы EV

Автоматизированная EVG540 Система Связи Вафли автоматизированное bonder продукции одиночн-камеры конструированное для пилотной линии и изготавливания так же, как R&D для высокообъемного изготавливания в Упаковывать Вафли Ровный, 3D-Interconnect и применениях MEMS. Основано на модульном проектировании EVG540 обеспечивает доказанное разрешение для более последнего перехода процессов выпуска облигаций вафли от этапа R&D к широкомасштабному изготавливанию на наших полно системах связи интегрированного производства.

Характеристики Автоматизированной EVG540 Системы Скрепления Вафли

  • Полн-Автоматизированный обрабатывать с автоматизированной нагрузкой и разгржать скрепленные цыплеят
  • Одиночное bonder продукции камеры
  • Автоматический регулировать до 4 скрепленных цыплеят
  • Уступчиво к высоким нормам бесопасности
  • Модульный скрепленный проект камеры
  • Активный нижний бортовой охлаждать

Спецификации Автоматизированной EVG540 Системы Скрепления Вафли

  • Размер Подогревателя = Максимальный диаметр вафли: 150 mm, 200mm, 300mm
  • Минимальный диаметр вафли: подогреватель 150mm: 50mm; подогреватель 200mm: 100mm, подогреватель 300mm: 200mm
  • Скрепленная система цыпленка/система Выравнивания:
  • подогреватель 150mm: EVG620, EVG6200, Aligner IQ, SmartView
  • подогреватель 200mm: EVG6200, Aligner IQ, SmartView
  • подогреватель 300mm: Aligner IQ, SmartView
  • Максимальное усилие контакта: 3.5kN, 7kN, 10 kN, 20 kN, 40 kN, kN 60
  • Максимальная температура: 550°C (600°C опционное)
  • Вакуум: 1E-3 mbar (стандартный), 1 E-5 (опционное), регулятор вакуума и газопроводы процесса опционные
  • Электропитание для анодного выпуска облигаций: 0-2.000V/50mA
  • Камера Нагрузки: робот 3 осей
  • Процесс (рецепт) совместимый с ДЖЕМИНИ
  • Максимальное число скрепленных камер: 1
  • Клиент/применение: пилот-линия +manufacturing, высокообъемное изготавливание

Last Update: 13. January 2015 09:41

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier