Posted in | Wafer Bonders

Автоматизированная EVG540 Система Связи Вафли от Группы EV

Автоматизированная EVG540 Система Связи Вафли автоматизированное bonder продукции одиночн-камеры конструированное для пилотной линии и изготавливания так же, как R&D для высокообъемного изготавливания в Упаковывать Вафли Ровный, 3D-Interconnect и применениях MEMS. Основано на модульном проектировании EVG540 обеспечивает доказанное разрешение для более последнего перехода процессов выпуска облигаций вафли от этапа R&D к широкомасштабному изготавливанию на наших полно системах связи интегрированного производства.

Характеристики Автоматизированной EVG540 Системы Скрепления Вафли

  • Полн-Автоматизированный обрабатывать с автоматизированной нагрузкой и разгржать скрепленные цыплеят
  • Одиночное bonder продукции камеры
  • Автоматический регулировать до 4 скрепленных цыплеят
  • Уступчиво к высоким нормам бесопасности
  • Модульный скрепленный проект камеры
  • Активный нижний бортовой охлаждать

Спецификации Автоматизированной EVG540 Системы Скрепления Вафли

  • Размер Подогревателя = Максимальный диаметр вафли: 150 mm, 200mm, 300mm
  • Минимальный диаметр вафли: подогреватель 150mm: 50mm; подогреватель 200mm: 100mm, подогреватель 300mm: 200mm
  • Скрепленная система цыпленка/система Выравнивания:
  • подогреватель 150mm: EVG620, EVG6200, Aligner IQ, SmartView
  • подогреватель 200mm: EVG6200, Aligner IQ, SmartView
  • подогреватель 300mm: Aligner IQ, SmartView
  • Максимальное усилие контакта: 3.5kN, 7kN, 10 kN, 20 kN, 40 kN, kN 60
  • Максимальная температура: 550°C (600°C опционное)
  • Вакуум: 1E-3 mbar (стандартный), 1 E-5 (опционное), регулятор вакуума и газопроводы процесса опционные
  • Электропитание для анодного выпуска облигаций: 0-2.000V/50mA
  • Камера Нагрузки: робот 3 осей
  • Процесс (рецепт) совместимый с ДЖЕМИНИ
  • Максимальное число скрепленных камер: 1
  • Клиент/применение: пилот-линия +manufacturing, высокообъемное изготавливание

Last Update: 8. June 2012 10:36

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment