Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

3D 내부 연락 도량형학에 작업장을 접대하는 SEMATECH

Published on June 4, 2009 at 8:14 AM

얻기 위하여는 새로운 기존 웨이퍼 도량형학 기술이 어떻게의 이용되거나, 변경되거나, 3D 내부 연락 프로세스를 측정하고 향상하기 위하여 강화될 수 있는지 더 나은 이해를, SEMATECH는 샌프란시스코에 있는 SEMICON 서쪽 함께 CA.7월 15일 전념한 작업장을, 에 3D 내부 연락 도량형학에 접대할 것입니다.

더 멀리 혁신적인 도량형학 기능을 탐구하기 위하여, 작업장 참가자는 가공하는 3D 내부 연락에서 실제적인 도량형학 결과를 공유하고, 도량형학 도전을 토론하고, 3D 아키텍쳐를 지배하는 측정 필름 및 높 양상 비율 특징을 위한 가능한 해결책을 정의합니다.

"우리는 양 제조가 일어날 수 있기 전에 유효한 3D 장식새김 기반이 있고 그리고," 말한 앤드류 Rudack, SEMATECH의 3D 장비 가공 엔지니어 및 작업실 의자를 단호해야 하는 장비 관심사를 언급해야 합니다. "이것과 같은 SEMATECH의 3D 내부 연락 프로그램 그리고 작업장 출석자를 통해서 진도를 비교하고 통합 접근, 가공 아키텍쳐 및 3D TSVs를 상업적으로 실행 가능할." 만들 연장 세트에 평가를 개발할 수 있습니다

스피커 정렬은 다음과 같이 입니다:

  • , 죤 Moore 엷게 하는, 웨이퍼 Daetec를 위한 기술을 가능하게 하기의 도량형학 응용
  • 3D 내부 연락 보세품 웨이퍼의 도량형학, 제임스 McKeon, Sonix를 위한 스캐닝 음향효과 현미경 검사법
  • 프로세스 (TSV)를 통하여 실리콘 를 통해 현미경 도량형학, Liam Cunnane, Metryx에 거시를 요구하십시오
  • 3D 내부 연락 IR 현미경 검사법, 리처드 Poplawski, Olympus ITA를 사용하는 보세품 웨이퍼 쌍 도량형학
  • 엑스레이 계산된 단층 촬영을 가진를 통하여 실리콘 을 통해의 비파괴적인 3차원 CD 측정으로 경로, Steve 왕, Xradia
  • TSV 순서 관리, 매튜 Knowles, Zygo를 위한 광학적인 도량형학
  • 종횡비 3D 내부 연락 기술, 데비드 Marx, Tamar를 위한 독립적인 몸의 접촉이 없는, 높은 처리량 TSV 깊이 도량형학

반나절 작업장은 "3D 도량형학이라고 표제 공개 토론으로 종결할 것입니다 -" 그 도량형학 공구의 준비완료상태에 초점 3D 통합 도전을 지원하기 위하여 부응합니다.

SEMATECH의 3D 프로그램은 제조를 통하여 실리콘 를 통해 높은 볼륨을 위한 장비 강력한 mm 300 그리고 가공 기술 해결책 전달하기 위하여 (TSV) 설치되었습니다. 진도를 가속하기 위하여는, 프로그램의 엔지니어는 칩메이커와 연합하여, 장비와 물자 공급자 및, 만드는, 비용을 포함하여 초기 발달 도전에 집합과 포장 서비스 회사, 기술 개발 좁히고 벤치마킹 기술 선택권 세계적으로 종사하고 있습니다. SEMATECH 3D 프로그램은 또한 후원 3D 작업장 및 계속 계속 ITRS 관련에 의해 건설 산업 합의입니다.

3D 내부 연락 도량형학 작업장은 SEMATECH 지식 시리즈, public의 세트, 반도체 연구 및 개발의 중요 지역에 있는 글로벌 지식을 증가하기 위하여 디자인된 단 하나 집중된 기업 회의의 일부분입니다. 7월 작업장에 추가 정보를 위해, 등록과 그밖 관련된 정보를 포함하여, 방문 http://www.sematech.org/meetings/announcements/8736/. 이 시리즈에 있는 모든 회의의 완전한 명부작성을 보기 위하여는, www.sematech.org/meetings/sks.htm에 가십시오.

20 년간이상, SEMATECH®는 글로벌 방향, 가능하게 된 유연한 협력을 놓고, 제조에 전략적인 연구 및 개발을 다리를 놓았습니다. 오늘날, 우리는 우리의 nanoelectronics와 나오는 기술 파트너와 가진 다음 기술 혁명을 가속하는 계속되.

Last Update: 14. January 2012 06:08

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit