Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

EV مجموعة تطلق مجموعة جديدة من أنظمة القياس وAligners للأسواق ممس ، تكنولوجيا النانو وأشباه الموصلات

Published on December 1, 2008 at 6:33 PM

EV مجموعة (EVG) ، الشركة الرائدة في مجال الربط رقاقة والمعدات للأسواق الطباعة الحجرية ممس ، وتكنولوجيا النانو وأشباه الموصلات ، اليوم عن طرح سلسلة NT -- جديدة ، بعد جناح الميدانية أثبتت بالفعل من aligners قناع ، ويفر إلى رقاقة ( W2W) aligners السندات وأنظمة القياس -- لمواجهة الطلب المتزايد على أعلى دقة دقة المحاذاة. التحول إلى أصغر هندستها جنبا إلى جنب مع مزيد من الحزم ميزة الغنية يضيف مجموعة من التحديات ، والقدرات التي تحيط محاذاة الدقة ، التي يمكن أن تؤثر بشكل كبير فشل الجهاز التعصب ، وفي نهاية المطاف ، والغلة والتكاليف. الجديد EVG - NT سلسلة عروض زيادة كبيرة دقة المحاذاة -- في حدود 1 إلى 0.1 ميكرون أسفل أم -- لتصنيع ممس المتقدمة ، وأشباه الموصلات المجمع ، السلطة القائمة على السيليكون ، IC 3D وأجهزة تكنولوجيا النانو -- على عكس أي شيء آخر في السوق. الوحدات الأولى من أنظمة NT جديدة تم تركيبها بالفعل في مواقع العملاء في جميع أنحاء العالم ونجح في اختبارات القبول.

"السلامة الإنشائية ، وفي نهاية المطاف ، يتأثر أداء الجهاز عن طريق عدم دقة المحاذاة طوال عملية الإنتاج ، وزيادة التكلفة الإجمالية للتصنيع" ، وقال بول ليندنر ، المدير التنفيذي لتكنولوجيا EVG. وقال "هناك مجموعة من المتغيرات للنظر في عملية التصنيع التي يمكن أن تؤثر على دقة المحاذاة -- بما في ذلك درجة الحرارة والمواد الركيزة -- والحركة إلى حزم أصغر حجما وأكثر ميزة الكثيفة يؤدي إلى تفاقم المشكلة إلى حد كبير في تحقيق التزامنا بتمكين لدينا الزبائن ، وقدمنا ​​سلسلة EVG - NT من أجل حل هذه القضايا. يسرنا أن نعلن أن العملاء قد تأهل بالفعل نظمنا أول مرة في هذا المجال ، وأكدت أن البيانات لدينا مواصفات ونقلت ، وهذا دليل على موقعنا ط 'الثلاثي "فلسفة اختراع والابتكار وتنفيذها ، ونحن نتطلع إلى دفع المغلف في تمكين احتياجات تصنيع الجيل القادم".

سلسلة EVG - NT ميزات الجيل القادم من المواءمة ونظم القياس بدقة محاذاة زيادة كبيرة. تتألف سلسلة من aligners قناع التالية ، وهي السندات W2W اليجنر ، ونظام قياس المحاذاة.

Aligners قناع : EVG620NT وEVG6200NT

وaligners قناع EVG620NT وEVG6200NT -- الذي تعامل مع أحجام ركائز بدءا من أقل من 5 ملم الى 150 ملم و 3 بوصات من ما يصل الى 200 ملم على التوالي -- العرض الجديد للدولة من بين أحدث الميزات ، بما في ذلك قاعدة من الجرانيت والنشطة الاهتزاز العزلة والمحركات الخطي لتلبية متطلبات أعلى دقة وسرعة. مبنية على منصات EVG في اليجنر الأكثر مرونة وتنوعا ، وهذه النظم الجديدة لتوسيع نطاق تمكين المصنعين بسهولة بين جهود البحث والتطوير إلى التصنيع في حجم نقل بسيط واحد لعملية واحدة من وضع دليل لالأتمتة الكاملة. المنحدر متابعة لتصنيع تخفيف حجم مقرونا تحسينات دقة المحاذاة -- نزولا إلى 0.1 ميكرون -- توفير كبير في تكاليف الملكية (COO) الفوائد.

W2W بوندر أليجنر : SmartViewNT

رقاقة متعددة التراص والترابط العمليات تتطلب دقة محاذاة أم 1 <. لمواجهة هذا التحدي ، ويستخدم SmartViewNT مرحلة ثورية محاذاة عالية الدقة والتي تضم المجاهر أعلى وأسفل الجانب لضمان أعلى درجة من الدقة. وهذا يمكن اليجنر السندات تنوعا أيضا التعامل مع جميع أنواع التحالفات ، بما في ذلك W2W ، المؤخر والأشعة تحت الحمراء شفافة. أظهرت النتائج الأولية للتحالفات W2W <0.3 ميكرون دقة المحاذاة وجها لوجه ، مما يلغي الحاجة لمرحلة ما بعد المعالجة خطوات مثل توليد مفاتيح محاذاة المؤخر وتلميع الوجهين -- تمكين انخفاض شهادة المنشأ. في مقارنة جنبا إلى جنب من SmartViewNT لسابقتها ، دقة المحاذاة بنسبة أكثر من 60 ٪ ، 300 ٪ ، و 40 ٪ للSmartView ، المؤخر شفافة والتحالفات ، على التوالي -- تمكين النظام من التصدي بفعالية لمتطلبات الدقة الصارمة .

المحاذاة نظام القياس : EVG40NT

Last Update: 7. October 2011 02:02

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit