KLA - Tencor的鐵筆廓線儀發展系列提供完整的解決方案，重點工程和研究界的需要。表面輪廓儀產品系列開發設計，以配合我們的客戶的各種需求，通過提供的功能齊全的產品，新技術的集成，和改進的性能。
- 55毫米掃描長度
- ž傳感器範圍可達 1.2毫米
- 200毫米機動樣品定位的階段（150毫米x178毫米的議案）
- 部隊控制0.03mg - 10毫克
- Windows XP中，Vista和Windows 7兼容
AlphaStep ® D - 120系統提供了最廣泛的應用程序特定的功能，其中包括最大1.2毫米Z範圍，分埃決議，6埃的台階高度重複性，電動XY階段，和許多其他功能。憑藉其機動150 X178毫米XY階段，在AlphaStep ® D - 120可以進行編程，自動在不同位置上的樣品進行多次測量。作為一個附加的功能，在D - 120採用了高度靈活的樣品可視化的4倍電動變焦的攝像頭。研究員或工藝工程師，在AlphaStep ® D - 120提供出色的性能與卓越的價值。
圖形用戶界面多文檔界面，使用戶能夠不斷獲得和顯示掃描數據。這允許用戶對數據進行分析，同時獲得額外的測量。 Profiler軟件控制自動拉平支持掃描，掃描功能測定，並顯示在屏幕上的一個 Excel兼容格式。所有的窗戶都是獨立的，這意味著在控制面板和數據實時掃描窗口，顯示窗口，數據結果窗口可以浮動或停靠在屏幕上的任何地方。此功能為用戶提供了一個完全靈活的環境，在其中獲取和分析數據。
應用AlphaStep ® D - 120包括：
- 表面紋理
- 精密步進高度
- 表面形式
- 薄膜應力
- 生物
- 微機電系統
- 三維成像
- 材料特性