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從 KLA-Tencor 的 AlphaStep® D-600 鐵筆仿形銑床

KLA-Tencor 的阿爾法步驟 D-600 鐵筆仿形銑床提供縫的用戶以先進的高分辨率第 2 和 3D 描出,配置文件,第 2 個重點和幾個其他功能在一個方便,用戶友好平臺。

D-600 鐵筆仿形銑床包括一個 200mm 動力化的階段,與行動和一種先進的光學槓桿傳感器技術的 150mm x 178mm X - Y 的範圍。 它也包括先進的光學和被改進的視頻控制靈活的範例形象化的。

新穎的排序的軟件帶有手工 deskew 對準線,使用戶編程 1000 個地點。

D-600 鐵筆仿形銑床可能評定在第 2 和 3D 的許多應用,從毫微米到毫米步驟,軟的材料,高分辨率坎坷和薄膜重點,從而使它最多才多藝的鐵筆仿形銑床可用在這個市場上。

關鍵功能

AlphaStep D-600 鐵筆仿形銑床的® 主要功能包括:

  • 直觀用戶接口
  • 在 0.03 的低強制評定對 15mg
  • 與 4x 數字式縮放的高分辨率 5MP 彩色攝影機
  • 在 1200µm 的最高的垂直的範圍
  • 步驟 5Å 的高度反覆性在 1µm 步驟的
  • 主要更正,排序與 deskew,弧更正和自動化的縫是新的軟件特點

應用

AlphaStep D-600 鐵筆仿形銑床的® 主要應用包括:

  • LED
  • MEMS
  • 太陽
  • 大學
  • 醫療設備
  • 材料研究
  • 半導體
  • 數據存儲
  • 政府實驗室

Last Update: 9. February 2015 12:45

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