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Rugosímetro P-6 de KLA Tencor

El sistema de análisis del profiler y de la superficie de la aguja P-6 ofrece una combinación de las características avanzadas para el revelado de proceso y el mando de fabricación de la investigación científica, de la fabricación solar fotovoltaica, del almacenamiento de datos, de MEMS, de la optoelectrónica, y de otras aplicaciones industriales de la metrología. El perfilado de la aguja P-6 y el sistema de análisis superficial utiliza tecnologías numerosas de la plataforma y de la medición de los sistemas más avanzados del profiler del semiconductor de KLA-Tencor para el análisis superficial de la topografía - escenario programable de la exploración, de poco ruido, y de las exploraciones largas de alta calidad, de alta resolución -- pero en un diseño más pequeño, más económico para los substratos hasta 150m m.

El sistema de análisis del profiler y de la superficie de la aguja P-6 es capaz de dirigir una amplia gama de mediciones y de aplicaciones:

Aplicaciones

El sistema de análisis del perfilado y de la superficie 3D de la aguja P-6 es capaz de dirigir una amplia gama de mediciones y de aplicaciones por ejemplo:

  • Película Fina
    Alturas del paso de progresión de la Dimensión y tosquedad superficial después de la deposición de la película fina.
  • Alturas del paso de progresión de la película Gruesa
    Alturas del paso de progresión de la Dimensión y estructura superficial en las películas gruesas, tales como líneas de plata de la pasta en la producción de la célula fotovoltaica.
  • La Foto resiste/suavemente las películas
    La presión Variable, el detectar de posición de la capacitancia y los radios permutables de la aguja activan la metrología superficial de estas películas suaves.
  • Profundidad Grabada El Ácido del foso
    La opción del radio de la aguja del Submicron y la sensibilidad de la altura del angstrom-nivel combinada, hacen la metrología de la profundidad del foso posible.
  • Caracterización de Materiales para las alturas del paso de progresión de la tosquedad superficial y de la ondulación
    El software de análisis del Ápice calcula fácilmente más de 40 parámetros superficiales, incluyendo la tosquedad superficial y la ondulación. Los Cálculos pueden estar para las 2.as exploraciones o las exploraciones regionales 3D.
  • Curvatura y formulario Superficiales
    Calcule la curvatura de la medición, o trace la curvatura y forme en los modelos 3D. Las Opciones incluyen el análisis fuera de línea de los datos para trazar y el análisis que no cortan en productividad.
  • 2.a tensión de películas finas
    La tensión de Medición de películas finas puede ayudar a optimizar procesos, evita el quebrarse y los problemas de la adherencia.
  • Textura del análisis Dimensional y de la superficie
    Si es declive y llanura, u ondulación y tosquedad en 2.a o área y volumen, distribución de la cuenta del pico y relaciones de transformación del rodamiento en 3D, P-6 ofrece flexibilidad y utilitario.
  • proyección de imagen 3D de diversas superficies
    El software del Ápice proporciona a la proyección de imagen avanzada 3D de cualquier área medida.
  • Llanura o curvatura
    Vea y cuantifique la llanura y la curvatura de líneas o de áreas medidas.
  • Deserte el análisis de la revista y de defecto
    Las funciones Avanzadas detectan características incorporando modelos definidos por el usario. Una Vez Que están detectadas incluso las pequeñas características se pueden situar y centrar en el centro revista del defecto de la exploración, de la optimización y análisis

Last Update: 31. January 2012 23:56

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