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KLA-Tencor からの P-7 スタイラス型彫機の表面の測定システム

KLA-Tencor の P-7 スタイラス型彫機の表面の測定システムは一貫した測定パフォーマンスに優秀な測定の反復性を提供します。 それにステッチのための必要性なしで長いスキャン機能を提供できる 150mm スキャン長さの標準があります。

P-7 スタイラスはをダイナミックな力制御、例外的な直線性および表面の測定システムに高い縦解像度を含んでいるする UltraLite® センサー、それによりそれに理想的なセンサーを与えられます。

P-7 スタイラス型彫機は市場で使用するべき最も容易な装置の 1 つであり R & D、大学および生産環境に適するように機能は設計されています。

主要特点

P-7 スタイラス型彫機の主な特長は下記のものを含んでいます:

  • ポイントおよびクリック操作および生産性のパッケージが付いている表面の測定システム
  • 優秀な測定の反復性
  • 信頼できる
  • 容易に適応可能

アプリケーション

P-7 スタイラス型彫機の主要出願は下記のものを含んでいます:

  • 薄膜のステップ高さの測定
  • 厚いフィルムのステップ高さの測定
  • 写真は抵抗しましたり/静かにフィルム
  • エッチングされた堀の深さ
  • 平坦か湾曲
  • 欠陥の検討および欠陥分析
  • 表面の湾曲および形式
  • 薄膜の第 2 圧力
  • さまざまな表面の 3D イメージ投射
  • 次元解析および表面の質
  • 表面荒さおよびうねりのための材料性格描写。

Last Update: 9. February 2015 12:46

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