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P-6 從 KLA Tencor 的輪廓測定器

P-6 鐵筆仿形銑床和表面分析系統提供先進特點科學研究,光致電壓的太陽製造、數據存儲、 MEMS、光電子學和其他行業計量學應用的組合工藝過程開發和製造控制的。 P-6 鐵筆描出和表面分析系統為表面地勢分析 - 可編程序的掃描階段使用從 KLA-Tencor 的最先進的半導體仿形銑床系統,低噪聲和優質,高分辨率長的掃描的許多平臺和評定技術 -- 但是在基體的一個更小,更加經濟的設計至 150mm。

P-6 鐵筆仿形銑床和表面分析系統能够解決各種各樣的評定和應用:

應用

P-6 鐵筆描出和 3D 表面分析系統能够解決各種各樣的評定和應用例如:

  • 薄膜
    評定步驟高度和地面粗糙度在薄膜證言以後。
  • 濃厚塗膜步驟高度
    評定步驟高度和表面結構在濃厚塗膜,例如銀色粘貼線路在光電池生產。
  • 照片抵抗/軟綿綿地影片
    可變的壓,電容位置測知和可互換的鐵筆半徑啟用這些軟的影片表面計量學。
  • 被銘刻的溝槽深度
    亞顯微鐵筆半徑選項和埃級的聯合的高度區分,使溝槽深度計量學成為可能。
  • 地面粗糙度和波狀步驟高度的材料描述特性
    尖頂分析軟件容易地計算超過 40 個表面參數,包括地面粗糙度和波狀。 計算可以是為第 2 掃描或 3D 地區掃描。
  • 表面曲度和表單
    計算從這個評定的曲度或者密謀曲度并且形成在 3D 設計。 不剪切成生產率的選項包括對數據的脫機分析為密謀和分析。
  • 薄膜第 2 個重點
    薄膜評定的重點可能幫助優選進程,防止裂化和黏附力問題。
  • 維分析和表面紋理
    它是否是傾斜和扁平或者波狀和坎坷在第 2 或區和數量、峰頂計數配電器和軸承比例在 3D, P-6 提供通用性和實用程序。
  • 3D 多種表面想像
    尖頂軟件提供被評定的任何區先進的 3D 想像。
  • 扁平或曲度
    參見并且定量被評定的線路或區扁平和曲度。
  • 背叛覆核和缺陷分析
    先進的功能通過合併用戶定義的設計檢測功能。 一旦檢測甚而小的功能可以和被集中位於掃描,優選缺陷的中心覆核和分析

Last Update: 31. January 2012 23:50

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