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步进自动化的 Nanoimprint 的石版印刷 - EVG770 零步进从 EV 组

步进 EV 组的 EVG770 自动化的 Nanoimprint (NIL) 的石版印刷为步骤和重复大区紫外Nanoimprint 石版印刷 (UV-NIL) 进程设计兼容 100 mm 至 300 mm 薄酥饼。 零步进盖子应用喜欢生命科学,光学要素,掌握, 3D 石版印刷和 R&D 半导体设备的。

EVG770 的功能自动化步进的零包括:

  • 吸尘印在空转在聚合物层的 a,消灭被困住的航空泡影最终造成的缺陷问题造成优越模式保真度
  • 对齐这个印花税和薄酥饼到联络自由的楔子报酬的理想的并行性的光学传感器
  • 通过一个没有接触的轴承系统 Chuck 移动减少微粒污秽
  • 与准确性的高精密度的对准线系统在内 +/-500 nm; 细致的对准线: 50nm (选项)
  • embossing/de 装饰的强制的负荷细胞评定,改进版本记录均一和进程可靠性由于活力控制和允许实时,原地描述特性多种商业可用抵抗和反停留层
  • 灵活的设备自动化级别,使零步进,一个容易和经济转移由 R&D 与小型或大容积制造
  • 缩短制造周转时间的事实上模板形状因子
  • 支持主机的功能的商业可用抵抗与在 1 之间的变化的黏度对几 1,000 mPas,改进微造型的处理灵活性和 nanopatterning

Last Update: 11. January 2012 06:13

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