SEMATECH Wählen Veeco für Extremes Ultraviolettes Lithographie-Projekt $2.4m aus

Published on April 23, 2007 at 11:17 PM

SEMATECH, das führende Konsortium das nanoelectronics der Welt und das College von Nanoscale-Wissenschaft und von Technik („CNSE“) der Universität an Albanien, am Haus zum Staat New York-Kompetenzzentrum in Nanoelectronics und an der Nanotechnologie („CENN“), kündigten heute an, dass Internationaler SEMATECH-Norden („ISMTN“) Woodbury ausgewählt hat, NY-basiertes Veeco Instruments Inc. für ein zusätzliches Projekt $2,4 Million, das die kritische Forschung und Entwicklung liefert, die notwendig ist, extreme ultraviolette („EUV“) Lithographie für hoch entwickelte Herstellung zu aktivieren.

Veeco, ein führender Anbieter von Metrologie und von Prozessausrüstungslösungen für die nanoelectronics Industrie, empfängt die Finanzierung von SEMATECH, um sein IonenTräger-Absetzungs-Hilfsmittel, das weiter zu entwickeln ein Teil des Masken-Abdeckungs-Entwicklungszentrums ISMTNS („MBDC“) ist-, gelegen am CNSE CENN. Seit dem Anfang Internationalen SEMATECH-Nordens im Jahre 2002, hat Veeco fast $19 Million in der Finanzierung für IonenTrägerprodukte und R&D-Programme empfangen.

IonTräger-Absetzungshilfsmittel werden in der Fälschung von Maskenabdeckungen verwendet - das Grundmaterial für die Schablone ähnlichen Fotomasken, die verwendet werden, um Muster auf nanoelectronics Wafers zu beschreiben - und sind für die Absetzung von ultradünnen Schichten Materialien wesentlich, die im EUV-Herstellungsverfahren verlangt werden. Veecos IonenTräger-Absetzungsprodukte führen die Industrie in der hohen Filmqualität und extrem kennzeichnen - niedrige Partikelabsetzung und genaue Regelung von optischen Eigenschaften für die einzelnen oder mehrschichtigen Prozesse. Beide sind für das Produzieren von hoch entwickelten EUV-Fotomasken kritisch.

Seit seinem Einbauort an der Site CNSE CENN im Jahre 2002, hat ISMTN eine direkte wirtschaftliche Auswirkung von $320 Million und über 1.650 High-Techen Jobs in New York am Ort erstellt, erzeugt und durch ein Netz von mehr als tun sich 330, der Lieferant und kooperative Firmen zusammen, die über New York Staats- 228 ausgebreitet werden, von dem (mehr als zwei drittel) außerhalb der HauptRegion, einschließlich 36 in New York City, 39 in der Finger Seeregion sind, 27 in der Niagara-Grenze und 43 auf Long Island.

SEMATECH-Präsident und Vorstandsvorsitzende Michael, den R. Polcari, „, Wie SEMATECH aggressiv drückt, um extreme ultraviolette Lithographie für hoch entwickelte Herstellung vorzubereiten, unsere Fähigkeit, mit der Nationalinfrastruktur von nanoelectronics-fokussierten, Weltklassen- Firmen in New York zu arbeiten sagte, ist zu unserem Erfolg kritisch. Dieses spätestes Projekt mit Veeco, in Übereinstimmung mit den Hunderten von New- Yorkfirmen arbeiten wir mit, dienen, die Forschung und Entwicklung zu beschleunigen, die ist wesentlich beide zur Zukunft der EUV-Lithographie und der globalen nanoelectronics Industrie.“

CNSE Vizepräsident und Dr. Alain E. Kaloyeros des Chief Administrativen Officers sagten, „Als Schlüsselankerpächter des Staat New York-Kompetenzzentrums in Nanoelectronics und Nanotechnologie und das UAlbany NanoCollege, SEMATECH hat Hand in Hand mit dem NanoCollege gearbeitet, um ein Nationalnetz von Hunderten von New- Yorkfirmen zu ernähren und aufzubauen, um innovative, High-Teche Forschung, Entwicklung und Kommerzialisierungsinitiativen voranzubringen. Im Prozess baut die SEMATECH-CNSE Partnerschaft eine nanotech-ausgebuffte Kultur und ein Netz von in hohem Grade ausgebildeten Leuten und von wettbewerbsfähigen Firmen auf, die eine kritische Rolle spielen, wenn sie anziehen zukünftige High-Teche Jobs, Investition und Wirtschaftswachstum in Staat New York.“

Robert P. Oates, ExekutivVizepräsident, Veeco-Prozessausrüstung, kommentiert, „Veecos VERBINDUNG (R) fährt LDD-IonenTräger-Absetzungs-Anlage fort, die Fähigkeit, nicht gerade niedrige Defektdichteabsetzung zur Verfügung zu stellen, aber auch die genaue Regelung zu zeigen, die für kritische Arbeit wie EUV-Fotomaskenabsetzung benötigt wird. Wir freuen uns, auf, dieser wichtigen Forschung mit SEMATECH fortzufahren durch sein Internationales SEMATECH-Nordprogramm in dem Staat New York-Kompetenzzentrum in Nanoelectronics und Nanotechnologie an Albaniens College von Nanoscale Wissenschaft und Technik zu arbeiten. Wir sind auch dankbar Regler Spitzer und den Staat New York für die beträchtlichen Investitionen in der Hochschulforschungs- und -Spitzentechnologiekommerzialisierung.“

Seit 2002 hat ISMTN auch ungefähr $10 Million zu einigen Universitäten in New York, um Forschungsprogramme mit hohem Potenzial für beträchtliche Ergebnisse in der Kenntnisschaffung zu finanzieren und -datenübermittlung, zur Verfügung gestellt und Ph.D. und M.S.-level Wissenschaftler und Forscher zu produzieren, um den Erweiterungsnanoelectronics Cluster in New York mit Personal zu besetzen.

Last Update: 17. January 2012 06:04

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