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SEMATECH Seleccionam Veeco para o Projecto Ultravioleta Extremo da Litografia de $2.4m

Published on April 23, 2007 at 11:17 PM

SEMATECH, o consórcio principal do nanoelectronics do mundo, e a Faculdade da Ciência de Nanoscale e da Engenharia (“CNSE”) da Universidade em Albany, em HOME ao Centro dos Estados de Nova Iorque de Excelência em Nanoelectronics e em Nanotecnologia (“CENN”), anunciaram hoje que o Norte Internacional de SEMATECH (“ISMTN”) seleccionou Woodbury, Veeco NY-baseado Instrumentos Inc. para um projecto $2,4 milhões adicional que fornecesse a investigação e desenvolvimento crítica necessária permitir (“EUV”) a litografia ultravioleta extrema para fabricação avançada.

Veeco, um fornecedor principal da metrologia e das soluções do equipamento de processo para a indústria do nanoelectronics, receberá o financiamento de SEMATECH para desenvolver mais sua Ferramenta do Depósito do Feixe de Íon, que é parte do Centro de Revelação da Placa da Máscara de ISMTN (“MBDC”), situada no CNSE CENN. Desde o início do Norte Internacional de SEMATECH em 2002, Veeco recebeu quase $19 milhões no financiamento para produtos do Feixe de Íon e programas de R&D.

As ferramentas do Depósito do Feixe de Íon são usadas na fabricação de placas da máscara - a matéria-prima para estêncil-como os photomasks que são usados para descrever testes padrões em bolachas do nanoelectronics - e são essenciais para o depósito de camadas ultra-finas de materiais que são exigidos no processo de manufactura de EUV. Os produtos do Depósito do Feixe de Íon de Veeco conduzem a indústria na qualidade alta do filme, caracterizando extremamente - o baixo depósito ínfimo e o controle preciso de propriedades ópticas para processos únicos ou da multi-camada. Ambos são críticos para produzir photomasks avançados de EUV.

Desde seu lugar no local de CNSE CENN em 2002, ISMTN gerou um impacto econômico directo de $320 milhões e criado sobre 1.650 trabalhos da alto-tecnologia em New York, no local e através de uma rede de mais de 330 partner, fornecedor e as empresas colaboradoras espalhados através dos Estados de Nova Iorque - 228 de que (mais de dois terços) são ficados situado fora da Região De Capital, incluindo 36 em New York City, 39 na região dos Lagos Finger, 27 na Fronteira de Niagara, e os 43 em Long Island.

A Presidente e director geral Michael R. Polcari de SEMATECH disse, “Como SEMATECH empurra agressivelmente para aprontar a litografia ultravioleta extrema para fabricação avançada, nossa capacidade para trabalhar com a infra-estrutura nacional do nanoelectronics-focalizado, mundo-classe que as empresas durante todo New York são críticas a nosso sucesso. Isto o projecto o mais atrasado com Veeco, de acordo com as centenas de empresas de New York nós estamos trabalhando com, estamos servindo para acelerar a investigação e desenvolvimento que é vital ambos ao futuro da litografia de EUV e da indústria global do nanoelectronics.”

O Vice-presidente de CNSE e o Dr. Principal Alain E. Kaloyeros do Oficial Administrativo disseram, “Como um inquilino chave da âncora do Centro dos Estados de Nova Iorque de Excelência em Nanoelectronics e a Nanotecnologia e o UAlbany NanoCollege, SEMATECH trabalharam em conjunto com o NanoCollege para consolidar e construir uma rede nacional das centenas de empresas de New York para avançar a pesquisa pioneiro, da alto-tecnologia, a revelação, e as iniciativas da comercialização. No processo, a parceria de SEMATECH-CNSE está construindo uma cultura e uma rede nanotech-esclarecido dos povos altamente treinados e das empresas competitivas que jogarão um papel crítico em atrair os trabalhos futuros da alto-tecnologia, o investimento e o crescimento econômico durante todo Estados de Nova Iorque.”

Robert P. Oates, Vice-presidente Executivo, Equipamento de Processo de Veeco, comentado, de “o NEXO Veeco (R) o Sistema do Depósito do Feixe de Íon de LDD continua a demonstrar a capacidade para fornecer não apenas o baixo depósito da densidade do defeito, mas igualmente o controle preciso exigido para o trabalho crítico tal como o depósito do photomask de EUV. Nós somos satisfeitos continuar a trabalhar nesta pesquisa importante com o SEMATECH com seu programa Norte Internacional de SEMATECH no Centro dos Estados de Nova Iorque de Excelência em Nanoelectronics e Nanotecnologia na Faculdade de Albany da Ciência e do Planejamento de Nanoscale. Nós somos igualmente gratos ao Regulador Spitzer e ao Estado de New York para os investimentos significativos na comercialização da pesquisa e do de alta tecnologia da universidade.”

Desde 2002, ISMTN igualmente forneceu aproximadamente $10 milhões a um número de universidades em New York para financiar programas de investigação com potencial alto para resultados significativos na criação e na disseminação do conhecimento, e para produzir o Ph.D. e o M.S. - cientistas e pesquisadores nivelados para prover de pessoal o conjunto de expansão do nanoelectronics em New York.

Last Update: 15. January 2012 02:46

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