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フィールドアップグレード可能な低温学のプローブ端末 - 湖の海岸モデル CPX

モデル CPX は直径で完全な装置使用する多目的な低温学の micromanipulated プローブ端末および部分的なウエファーの非破壊的なテストに 51 までの mm (2) です。 CPX は材料およびテスト装置の電気、電気光学、パラメーター付き、高い Z、 DC、 RF およびマイクロウェーブ特性の測定のためのプラットホームです。 Nanoscale の電子工学、量のワイヤーおよび点および半導体は CPX で測定される典型的な材料です。 プローブ、ケーブル、サンプルホールダーおよびオプションの幅広い選択は特定の測定アプリケーションに会うために CPX を設定することを可能にします。

CPX は 475 K. に 4.2 K の温度較差に動作します。 オプションを使うと、基準温度は 1.5 K. に拡張することができます。 プローブ端末はヘリウムか窒素を使用して連続的な冷房装置との効率的な温度操作そして制御を提供します。 蒸気冷却された保護はサンプルに達する前に効率を最適化し、黒体放射を代行受信します。 放射の盾のヒーターと共にサンプル段階の制御ヒーターは速い熱応答をプローブ端末に与えます。

CPX は 6 つまでの超安定したマイクロ処理されたプローブアームによって設定されるユーザーです。 各アームは正確に装置機能のプローブの先端を上陸させるためにプローブの位置の精密な 3 軸線制御を提供します。 サンプル段階は段階の斧が付いているパターンのアラインメントを可能にするために内部平面の回転を提供します。 いろいろなサイズおよび材料の専有プローブの先端は熱大容量を最小化し、装置にテストの下で電気接触を最適化します (DUT)。 プローブの先端はサンプル段階に熱的に DUT への熱伝達を最小化するためにリンクされます。

高められた多様性のために、 CPX オプションは 1.5 K、高真空、ロードロックアセンブリ、振動隔離システム、 LNc の Dewar キット、より高い拡大の顕微鏡、真空のターボポンプ施設管理および光ファイバプローブアーム修正に温度を含んでいます。

モデル CPX プローブ端末の機能

  • 1.5 K からの 475 K への安定性が高い操作
  • サンプルは凝縮のための潜在性を減らす室温でシステムが冷却する間、維持することができます
  • cryogen の消費を最小化するために最適化される多重放射の盾
  • ±5° の内部平面の回転を用いるサンプル段階
  • DC からの 67 の GHz への測定
  • 10-7 トルへの任意選択高真空
  • 任意選択ロードロックアセンブリ
  • 51 までの mm (2) の直径のウエファーを取り扱います
  • 6 つまでの熱的に固定された micromanipulated プローブと設定可能武装します
  • 3 軸線の調節および ±5° のΘの planarization のアームを厳密に調べて下さい
  • ケーブル、盾および警護は電気騒音および熱放射の損失を最小化します
  • 特定の研究の必要性へのカスタマイゼーションのためのオプションそしてアクセサリ

Last Update: 5. September 2012 11:46

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