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stazione criogenica Senza Cryogen della sonda di 4 K - Modello CRX-4K della Riva del Lago

Il Modello CRX-4K è una stazione micro-manipolata senza cryogen versatile della sonda utilizzata per la prova non distruttiva delle unità sopra piene e dei wafer parziali fino a 51 millimetro (2 dentro) nel diametro. Il CRX-4K è un binario per la misura della Z, della CC, della RF e dei beni elettrici, elettro-ottici, parametrici, alti di microonda dei materiali e delle unità della prova. L'elettronica di Nanoscale, i collegare ed i punti di quantum ed i semiconduttori sono materiali tipici misurati in un CRX-4K. Un'ampia selezione delle sonde, dei cavi, dei supporti del campione e delle opzioni permette di configurare il CRX-4K per incontrare le vostre applicazioni specifiche di misura.

Sulla Base di una temperatura bassa CCR di Sumitomo 4 K, il CRX-4K fornisce l'operazione ed il controllo efficienti della temperatura sopra una gamma di temperature di 4,5 K a 350 K senza le spese d'esercizio dei cryogens liquidi. Un supporto ad alta temperatura intercambiabile facoltativo del campione fornisce una gamma di temperature di 50 K a 475 K. Ogni fase criogenica è fornita di sensore e di radiatore per fornire la risposta ed il riscaldamento termici veloci della rapida per lo scambio del campione. La protezione Attivamente raffreddata intercetta la radiazione di corpo nero prima che raggiunga il campione, assicurando i piccoli gradienti termici.

La considerazione Attenta di progettazione è stata catturata per fornire una vibrazione bassa, strumento facile da usare. L'isolamento antivibrante Integrato ed ammortizzare impedisce la vibrazione meccanica pregiudicare la prestazione di misura. La vibrazione della fase del Campione è limitata meno di 1 µm (asce di X, di Y e di Z) attraverso la gamma di temperature completa.

Il CRX-4K è utente configurato con fino a sei armi micromanipulated ultra-stabili della sonda, ogni controllo di posizione preciso di fornitura della sonda di 3 assi atterrare esattamente il suggerimento della sonda sulle funzionalità dell'unità. Ogni sonda può anche essere ±5° rotante circa il suo asse (planarized) per assicurare le sonde del multi-suggerimento correttamente è allineata con il campione. Le misure di CC possono essere ottimizzate per il contatto a basso rumore, ad alta impedenza (dispersione bassa), o del alto-termale all'unità nell'ambito della prova (DUT). Le misure di RF comprendono le configurazioni fino a 67 Gigahertz. Le sorgenti Ottiche possono essere introdotte con le finestre della vista o la modifica a fibra ottica facoltativa del braccio della sonda. Le armi Private della sonda in varie dimensioni ed i materiali minimizzano la massa termica ed ottimizzano il contatto elettrico al DUT. Inoltre, i suggerimenti della sonda sono collegati termicamente alla fase del campione per minimizzare lo scambio di calore nel DUT.

Funzionalità della Stazione della Sonda del Modello CRX-4K

  • Il frigorifero del ciclo Chiuso fornisce l'operazione senza cryogen dell'alta stabilità da 4,5 K a 350 K
  • Gamma di temperature Facoltativa da 50 K a 475 K
  • Stabilità di Controllo a 10 Mk
  • Tempo di ciclo di scambio del Campione di <3>
  • Progettazione Bassa di vibrazione: <1>
  • Misure da CC a 67 Gigahertz
  • Supporti del Campione ottimizzati per le misure a basso rumore, ad alta frequenza, o alte di impedenza
  • Accomoda i wafer del diametro da fino a 51 millimetro (2 dentro)
  • Configurabile con fino a sei armi micro-manipolate termicamente ancorate della sonda
  • Armi della Sonda con 3 adeguamenti di asse e planarization di teta di ±5°
  • I Cavi, i carter e le guardie minimizzano il disturbo elettrico e le perdite di radiazione termica
  • Opzioni ed accessori per personalizzazione ai bisogni specifici di ricerca

Last Update: 5. September 2012 11:46

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