Kälteerzeugende Fühler-Station für große 4-Zoll- Wafers - See-Ufer-Baumuster FWPX

Das Baumuster FWPX ist eine vielseitige kälteerzeugende mikro-manipulierte Fühlerstation, die ein für zerstörungsfreie Prüfung von den vollen Einheiten und von teilweisen Wafers bis 102 mm (4 herein) verwendet wird im Durchmesser. Die kälteerzeugende Fühlerstation FWPX ist eine Plattform für Maß elektrischen, elektrooptischen, parametrischen, hohen Z, des GLEICHSTROMES, der HFS und der Mikrowelleneigenschaften der Materialien und der Versuchseinrichtungen. Nanoscale-Elektronik, Quantumskabel und -punkte und Halbleiter sind die typischen Materialien, die in einem FWPX gemessen werden. Eine breite Auswahl von Fühlern, von Kabeln, von Beispielhalterungen und von Optionen macht es möglich, das FWPX zu konfigurieren, um Ihre spezifischen Maßanwendungen zu treffen.

Das FWPX funktioniert über einer Temperaturspanne 4,5 K bis 475 K. Mit Optionen kann die falsche Temperatur bis 3,5 K. unten ausgedehnt werden. Die Fühlerstation versorgt effiziente Temperaturoperation und -regelung mit einer kontinuierlichen Kühlanlage entweder unter Verwendung des Heliums oder des Stickstoffes. die Dampf-Abgekühlte Abschirmung optimiert Leistungsfähigkeit und fängt Strahlung des schwarzen Körpers ab, bevor es die Probe erreicht. Zwei Steuerheizungen auf der Beispielstufe setzen Temperaturgradienten über der Probe und, zusammen mit der Strahlungsschildheizung herab, versehen die Fühlerstation mit schneller thermischer Antwort.

Das FWPX wird mit bis sechs ultra-stabilen mikro-manipulierten Stufen, jede zur Verfügung stellende genaue Regelung mit 3 Schwerpunkten der Fühlerstellung Benutzer-konfiguriert, um die Fühlerspitze auf Einheitsmerkmalen genau zu landen. Die Beispielstufe liefert auf gleicher Ebene Übersetzung und Rotation, um Ausrichtung von Mustern mit Stufenäxten zu erlauben. Eigene Fühlerspitzen in einer Vielzahl von Größen und von Materialien setzen thermische Masse herab und optimieren elektrische Kontakte zur Einheit in Versuch (DUT). Fühlerspitzen werden thermisch mit der Beispielstufe verbunden, um Wärmeübertragung auf das DUT herabzusetzen.

Für erhöhte Vielseitigkeit umfassen FWPX-Optionen eine Stufe falscher Temperatur von 3,5 K, einen Satz des Dewar LN2, Pumpenrohrleitung Schwingungsdämpfer, höheren Vergrößerungsmikroskops, Pumpsystems Vakuum-Turbos und Faseroptikfühlerwaffenmodifikation.

Hauptmerkmal

Hauptmerkmale der Kälteerzeugenden Fühler-Station des Baumuster-FWPX umfassen:

  • Hohe Stabilitätsoperation von 3,5 K bis 475 K
  • Maße von GLEICHSTROM zu 67 Gigahertz
  • Passt Durchmesserwafers bis 102 mm (4 herein) an
  • Konfigurierbar mit bis sechs thermisch verankertem mikro-manipuliertem Fühler armiert
  • Prüfen Sie Waffen mit 3 Schwerpunktseinstellungen und ±5°-Theta planarization
  • Prüfen Sie Stufe mit auf gleicher Ebene Übersetzung und Rotation ±5° auf gleicher Ebene
  • Kabel, Schilder und Abdeckungen setzen elektrische Geräusche und Wärmestrahlungsverluste herab
  • Optionen und Zubehör für Kundenbezogenheit zum spezifischen Forschungsbedarf

Last Update: 5. September 2012 11:46

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