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Cryogen-Freier Vertikaler Bereich-Supraleitende Magnet-Fühler-Station - See-Ufer-Baumuster CRX-VF

Das Baumuster CRX-VF ist eine umfassende, cryogen-freie mikro-manipulierte Fühlerstation, die für ZERSTÖRUNGSFREIE PRÜFUNG von Einheiten auf den teilweisen und vollen Wafers bis zu 51 mm-Durchmesser verwendet wird. Das CRX-VF ist eine Plattform, die verwendet wird, um die elektrooptische, elektrische, parametrische, GLEICHSTROMES, HFS, hoch--z und der Mikrowelle Eigenschaften von Versuchseinrichtungen und von Materialien zu messen. Quantums-Kabel und -punkte, nanoscale Elektronik, Halbleiter und spintronic Einheiten sind die Standardmaterialien, die in einem CRX-VF gemessen werden. Eine breite Auswahl von Kabeln, Fühler, Beispielhalterungen und Optionen helfen, das CRX-VF zu konfigurieren, um die spezifischen Maßanwendungen zufriedenzustellen.

Mit einer einzelnen falschen Temperatur CCR Sumitomo 4 K, wird das CRX-VF mit einem supraleitenden Magneten des vertikalen Bereichs versehen, der zu maximalen 22,5 KOe fähig ist (2,25 T). Es bietet effiziente Temperaturoperation und -regelung über einer Temperaturspanne 10K bis 500 K ohne die Betriebskosten von flüssigen cryogens an. Jede kälteerzeugende Stufe wird mit einer Heizung und einem Fühler versehen, um schnelle thermische Antwort und schnelles Aufwärmen für Beispielaustausch anzubieten. Strahlung des Schwarzen Körpers wird durch die aktiv abgekühlte Abschirmung abgefangen, bevor sie die Probe erreicht, die kleine thermische Steigungen zusichert.

Das CRX-VF ist der Benutzer, der mit bis sechs ultra-stabilen mikro-manipulierten Fühlerwaffen, jede anbietende genaue Fühler-Stellungsregelung mit 3 Schwerpunkten konfiguriert wird, die Fühlerspitze auf Einheitsmerkmalen genau zu landen. Jeder Fühler kann rotiertes ±5° über seinen Schwerpunkt auch sein (planarized) zu überprüfen ob Multispitze Fühler mit Recht mit der Probe ausgerichtet werden. Es ist möglich, GLEICHSTROM-Maße für hochohmigen, lärmarmen oder hohen Thermokontakt zur Einheit in Versuch zu optimieren (DUT). Konfigurationen bis zu 67GHz werden in den HF-Maßen umfaßt. Es ist möglich, optische Quellen durch wahlweise Faseroptikfühlerwaffenmodifikations- oder -ansichtanschlussfenster vorzustellen. Eigene Fühlerwaffen sind erhältlich in einer Reichweite der Größen und der Materialien, thermische Masse herabzusetzen sowie elektrischen Kontakt zum DUT zu optimieren.

Außerdem werden Fühlerspitzen thermisch mit der Strahlungsabschirmung verbunden, um Wärmeübertragung auf das DUT herabzusetzen.

Hauptmerkmale des Baumusters CRX-VF Prüfen Station

Die Hauptmerkmale der Fühler-Station des Baumuster-CRX-VF sind:

  • kOe 22,5 (T) supraleitender Magnet des vertikalen Bereichs 2,25
  • Kreisprozesskühlraum stellt cryogen-freie Operation der hohen Stabilität von 10 K bis 500 K zur Verfügung
  • Steuerstabilität bis 10 M
  • Niedrige Schwingungsauslegung kleiner als 1 µm in Beispielstadium (X-, O- und Z-Äxte)
  • Maße von GLEICHSTROM zu 67 Gigahertz
  • Prüfen Sie die Halterungen, die für die lärmarmen, Hochfrequenz- oder hochohmigen Maße optimiert werden
  • Passt Durchmesserwafers bis 51 mm (2 herein) an
  • Kann mit bis sechs thermisch verankerten mikro-manipulierten Fühlerwaffen konfiguriert werden
  • Prüfen Sie Waffen mit Dreiachseneinstellungen und ±5°-planarization
  • Kabel, Schilder und Abdeckungen verringern elektrische Geräusche und Wärmestrahlungsverluste
  • Optionen und Zubehör für Kundenbezogenheit zum spezifischen Forschungsbedarf

Last Update: 4. September 2012 05:51

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