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Stazione senza cryogen Accessibile e per tutti gli usi della sonda - Modello CRX-6.5K della Riva del Lago

Il Modello CRX-6.5K è un basso costo senza cryogen e, una stazione micro-manipolata della sonda utilizzata per la prova non distruttiva delle unità sopra piene ed i wafer parziali fino a 51 millimetro (2 dentro) nel diametro. Il binario di CRX-6.5K è utilizzato per misurare la Z, la CC, la RF ed i beni elettro-ottici, elettrici, parametrici, alti di microonda dei materiali e delle unità della prova. I collegare ed i punti di Quantum, l'elettronica del nanoscale ed i semiconduttori sono materiali tipici misurati in un CRX-6.5K. Un'ampia selezione dei cavi, le sonde, i supporti del campione, guide configura il CRX-6.5K per soddisfare le applicazioni specifiche di misura.

Il CRX-6.5K è basato su una temperatura bassa CCR di Sumitomo 6,5 K ed offre l'operazione ed il controllo efficienti della temperatura sopra una gamma di temperature di meno di 10 K a 350 K senza le spese d'esercizio dei cryogens liquidi. Una gamma di temperature di 20K a 675K è offerta da una fase ad alta temperatura intercambiabile facoltativa del campione. Sia le fasi del carter del radiationn che il campione sono provveduti di un sensore e di un radiatore per permettere alla risposta ed al riscaldamento termici veloci della rapida per lo scambio del campione. La protezione Attivamente raffreddata quella intercetta la radiazione di corpo nero prima che raggiunga il campione e le sonde raffreddate dalla fase del campione assicurino i piccoli gradienti termici.

Il CRX-6.5K è utente configurato con fino a sei armi micro-manipolate ultra-stabili della sonda, ogni controllo di posizione preciso permettente della sonda di 3 assi atterrare esattamente il suggerimento della sonda sulle funzionalità dell'unità. La Rotazione di ogni sonda può essere ±5° fatto circa il suo asse (planarized) per assicurare le sonde del multi-suggerimento correttamente è allineata con il campione. Le misure di CC possono essere ottimizzate per il contatto a basso rumore, ad alta impedenza (dispersione bassa), o del alto-termale all'unità nell'ambito della prova (DUT). Le misure di RF comprendono le configurazioni fino a 67 Gigahertz. L'Introduzione delle sorgenti ottiche è fatta con le finestre della vista o la modifica a fibra ottica facoltativa del braccio della sonda. Le armi Private della sonda in un intervallo delle dimensioni ed i materiali diminuiscono la massa termica ed ottimizzano il contatto elettrico al DUT. Ancora, i suggerimenti della sonda sono collegati termicamente alla fase del campione per minimizzare lo scambio di calore nel DUT.

Caratteristiche Fondamentali

Le caratteristiche fondamentali della Stazione della Sonda del Modello CRX-6.5K sono:

  • Il frigorifero del ciclo Chiuso offre all'alta stabilità l'operazione senza cryogen da <10 K="" to="" 350="" K="">
  • Gamma di temperature Facoltativa da 20 K a 675 K
  • Le Sonde sono ancorate termicamente alla fase del campione raffreddata a <25 K="" at="" base="" temperature="">
  • Il sensore del braccio della Sonda è fornito per il video della temperatura della sonda
  • Stabilità di Controllo a 20 Mk
  • Un tempo di ciclo di scambio del Campione di 4 h
  • Ha un µm basso di 2 di progettazione di vibrazione meno nella fase del campione
  • Misure da CC a 67 Gigahertz
  • Campioni i supporti ottimizzati per le misure a basso rumore, ad alta frequenza, o alte dell'impedenza
  • Accomoda i wafer del diametro da fino a 51 millimetro (2 dentro)
  • Configurabile con fino a sei armi micro-manipolate termicamente ancorate della sonda
  • Armi della Sonda con 3 adeguamenti di asse e il planarization di ±5°

Last Update: 4. September 2012 04:43

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