3D 원자 군대 현미경 (AFM) - Bruker에서 통찰력

45 nm를 위한 생산 기지를 둔 3D 참고 도량형학 이하에

비할 데 없는 정확도 및 정밀도를 위해 - 종류는 중요한 45nm의 비파괴, 고해상도 3D 측정 및 32nm 반도체 특징을 위해 필요로 했습니다 -- Bruker에서 InSight™ 3D 원자 (AFM) 군대 현미경은 명확한 선택입니다.

통찰력 3DAFM는 중요한 차원 및 측벽 각 (SWA) 도량형학을 통해 (CD) 순서 관리를 향상하기 위하여 필요로 한 정확도를 제공합니다.

흑자, 통찰력 3DAFM는 3 시간을 처리량 및 두번 측정 정확도 및 정밀도 대 이전 AFMs 줍니다.

특징

Bruker 통찰력 3D AFM의 특징은 다음을 포함합니다:

  • 문, 얕은 트렌치 격리 조합 이중 다마스쿠스 사람 구조물, 측벽 각, 선 가장자리 (STI) 변이 및 더 많은 것 같이 결정적인 CD 성분을 참고 도량형학을 제공합니다.
  • 중요한 차원 및 측벽 각 (SWA) (CD) 도량형학을 가장 낮은 측정 불확실을 제공합니다
  • 깊이 도량형학을 위한 30의 wph, 9개의 사이트 처리량 & 12의 wph, 비파괴 유일한, CD 도량형학을 위한 9개의 사이트 처리량 3D 도량형학 (LER, LWR, SWA)
  • 인라인 생산력을 위한 생산 수평 신뢰도 그리고 최신식 자동화

Last Update: 30. October 2013 13:05

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