3D 基本强制显微镜 (AFM) - 从 Bruker 的答案

3D 基本强制显微镜 (AFM) - 从 Bruker 的答案

45 的毫微米基于生产的 3D 参考计量学以下

对空前的准确性和精确度 - 种类为重要 45nm 的非破坏性,高分辨率 3D 评定和 32nm 半导体功能需要 -- 从 Bruker 的 InSight™ 3D 基本 (AFM)强制显微镜是清楚的选择。

答案 3DAFM 提供必要的准确性改进程序控制的通过重要维数 (CD)和侧壁角度 (SWA) 计量学。

加号,答案 3DAFM 给您三倍处理量和两次评定准确性和精确度与早先 AFMs。

功能

Bruker 答案 3D AFM 的功能包括:

  • 为象门、浅沟槽隔离联合双重波状花纹结构、侧壁角度 (STI),线路边缘差异和更多的关键的 CD 的要素提供参考计量学。
  • 为重要维数和侧壁角度 (SWA (CD)) 计量学提供最低的测量误差
  • 30 wph、 9 个站点处理量深度计量学的 & 12 wph, 9 个站点处理量唯一 CD 的计量学的,非破坏性, 3D 计量学 (LER、 LWR, SWA)
  • 生产级别可靠性和科技目前进步水平自动化轴向生产率的

Last Update: 30. October 2013 13:03

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