45 的毫微米基于生产的 3D 参考计量学以下
对空前的准确性和精确度 - 种类为重要 45nm 的非破坏性，高分辨率 3D 评定和 32nm 半导体功能需要 -- 从 Bruker 的 InSight™ 3D 基本 (AFM)强制显微镜是清楚的选择。
答案 3DAFM 提供必要的准确性改进程序控制的通过重要维数 (CD)和侧壁角度 (SWA) 计量学。
加号，答案 3DAFM 给您三倍处理量和两次评定准确性和精确度与早先 AFMs。
功能
Bruker 答案 3D AFM 的功能包括：
- 为象门、浅沟槽隔离联合双重波状花纹结构、侧壁角度 (STI)，线路边缘差异和更多的关键的 CD 的要素提供参考计量学。
- 为重要维数和侧壁角度 (SWA (CD)) 计量学提供最低的测量误差
- 30 wph、 9 个站点处理量深度计量学的 & 12 wph， 9 个站点处理量唯一 CD 的计量学的，非破坏性， 3D 计量学 (LER、 LWR， SWA)
- 生产级别可靠性和科技目前进步水平自动化轴向生产率的