Cryogen なしの水平フィールド磁石のプローブ端末 - 湖の海岸モデル CRX-EM-HF

Cryogen なしの水平フィールド磁石のプローブ端末 - 湖の海岸モデル CRX-EM-HF

モデル CRX-EM-HF は装置の非破壊的なテストのアプリケーションを完全で、部分的なウエファー直径の 25 までの mm (1) 見つけるダイナミックな cryogen なしの電磁石ベースのマイクロによって処理されるプローブ端末です。 このプラットホームが電気光学、電気、パラメーター付きを、テスト装置および材料の DC 測定するのに、高い Z、 RF およびマイクロウェーブ特性を使用されています。 Quantum のワイヤーおよび点、 nanoscale の電子工学、また半導体は CRX-EM-HF で測定される材料です。 ケーブルのいろいろな選択、プローブ、サンプルホールダーおよびオプションは特定の測定アプリケーションを満たすために CRX-EM-HF の設定を助けます。

CRX-EM-HF は 6.0 kOe が Sumitomo 4 K の基準温度 CCR に、装備されています基づいています (0.6 の T) 水平の (内部平面) フィールド電磁石。 400 K への 8 K の温度較差の効率的な温度操作そして制御は液体の cryogens の操業費を負わないで可能になります。 代わりとなる交換可能な高温サンプル段階は 500 K. に 20 K の温度較差を提供します。 センサーおよびヒーターは各々の低温学の段階で速い熱応答を可能にし、すぐにサンプル交換のためにあたたまるために提供されます。 システムは実行中に冷却されるが装備されその妨害の黒体放射をサンプルに達するそれ前に保護し小さい熱勾配を保障します。

デザイン考察はユーザーフレンドリーをの低振動ツール提供するために取られました。 機械振動が測定に影響を与えないことを弱まることおよび統合された振動振動は保障します。 サンプル段階の振動はフル・スケールの温度較差を通して 1 つ以下の µm (X、 Y および Z の斧) 限定されます。 CRX-EM-HF のユーザー構成は 4 つの非常に安定したマイクロ処理された段階まで正確に装置機能のプローブの先端を上陸させるプローブの位置の各々の提供の正確な三軸制御行われます。 複数の先端のプローブがサンプルときちんと一直線に並ぶことを保障するために軸線についての各プローブ ±5° を (planarized) 回すことは可能です。 360° サンプル段階の回転オプションは DUT の角依存した、異方性磁石輸送の特性を測定することを可能にします。 サイズおよび材料の範囲の専有プローブの先端は熱大容量をダウンさせ、 DUT に電気接触を最適化します。 プローブの先端の熱リンクはサンプル段階に DUT への熱伝達を最小化するために行われます。

主要特点

モデル CRX-EM-HF プローブ端末の主要特点は次のとおりです:

  • 6.0 kOe (0.6 の T) 水平の (内部平面) フィールド電磁石
  • クローズド・サイクル冷却装置は 8 K からの 400 K に安定性が高い cryogen なしの操作を提供します
  • 10 mK への制御安定性
  • 交換サイクル時間をのより少しにより 4.5 h 見本抽出して下さい
  • 低い振動デザインより少しサンプル段階 (X、 Y および Z の斧) のより 1 つの µm
  • 360° サンプル段階の回転オプション
  • DC からの 67 の GHz への測定
  • 直径のウエファーの 25 までの mm か 1 つを取り扱います
  • 4 まで熱的に固定されたマイクロ処理されたプローブと設定可能武装します
  • 3 軸線の調節および ±5° の planarization のアームを厳密に調べて下さい
  • ケーブル、盾および警護は電気騒音および熱放射の損失を最小化します
  • 特定の研究の必要性へのカスタマイゼーションのためのオプションそしてアクセサリ

Last Update: 4. September 2012 03:43

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