干涉儀 - 從 Queensgate 儀器的目標干涉儀

AZoNano - 納米技術 - Queensgate 儀器徽標

包括的事宜

背景

儀器準確性

儀器配置

目標干涉儀的好處

最大的靈活性

Nanometric 功能

模塊設計

自動對準線

超穩定

易用

可適用對敵對環境

受控制的處理器

被調整的參考回射器

功能

技術詳細資料

背景

目標干涉儀在 20 年期間表示前沿發展造成易用,穩健產品,為每種評定應用特別地被優選了。

AZoNano - 納米技術: Inferometers - 從 Queensgate 儀器的目標 Inferometer

儀器準確性

典型的準確性可獲得從這些未清儀器是:

•        長度: + 1 毫微米 25 mm 或 1,000 mm

•        振動: + 1 毫微米 25 mm

•        角度: + 0.01 弧秒鐘 40 弧分鐘

•        氣體折射率差: 2 x 10-8 在無限的範圍

•        液體折射率差: 1 x 10-6 在無限的範圍

儀器配置

所有儀器配置在 AIMS™干涉儀 (可適應的干涉測量的計量學系統) 附近被建立。 這使用一個氦氖氣體的激光源和一個 Jamin 型的光束分束器塊對哪些是每個特殊評定方案的附上適當的模塊。

目標干涉儀的好處

AIMS™干涉儀的設計有下列特別好處:

•        最大的靈活性

•        Nanometric 功能

•        模塊設計

•        自動對準線

•        超穩定

•        易用

•        可適用對敵對環境

•        受控制的處理器

•        被調整的參考回射器

最大的靈活性

創新,給予專利的光學配置可能使用作為一臺永久安裝的儀器或合併到客戶指定的硬件裡。

Nanometric 功能

AIMS™干涉儀光束分束器的光學設計從光學系統自動地消滅不需要的反映。 只不可避免 「自伴隨使用的對齊的」迷路者多維數據集角落回射器在這個系統保持,并且這些的 「最壞情況」作用極大在 subnanometric 程差級別下。 理論上適合於非聯絡, MEMS 設備的非破壞性的位移評定。

模塊設計

不同的有效模塊可能使用,不用性能任何妥協。

自動對準線

參考和評定射線在一個公用方向自動地對齊與回射器系統在同一條 「胳膊」每臺干涉儀。 這導致 「公用路徑」和 「零個停止路徑」儀器的評定特性。

超穩定

每臺干涉儀在一種創新公用路徑光學配置附近被設計,保證這個系統是不區分的對不需要的機械更改,并且航空 R.i. 更改。

易用

使用多維數據集角落回射器只要求二相對地基本的對準線為了干涉儀能發揮作用,這些是參考和評定射線的疊加對表單干涉圖和為了這些干涉圖能落在光電探測器上。 當二條射線完全地被疊加時,最佳對比認識到。

可適用對敵對環境

通過檢查參考和移動回射器通過一適當的質量光學視窗,干涉儀在非常敵對環境,認識到高精度 「公用路徑」評定的儀器裡可以被管理,與這個環境完全地查出。 儀器的評定範圍由選擇的輻射源的粘著長度控制,并且 「请由分歧的激光抵銷範圍」。

受控制的處理器

一個按客戶要求設計的電子處理器保證每臺干涉儀運行與最佳性能。 這個處理器在個人計算機也允許從干涉儀的數據外部被顯示或存儲。

被調整的參考回射器

調制器部件,與其電子驅動器部件一起被使用機電瀏覽在干涉儀的光學路徑。 這實現這個系統的光學對準線和在這個軟件使用的數學技術的定標優選電子信號。 這個部件提供的這個控制保證目標干涉儀系統認識到 nanometric 評定區分和精確度』。

功能

唯一回射器部件合併光學對準線控制,并且干涉儀題頭包含 opto 電子信號處理和自動電子優化的微處理董事會。 儀器是不區分的對機械更改并且使對停止路徑錯誤報酬的需要減到最小。

AZoNano - 納米技術: Inferometers - 目標 Inferometer 表單 Queensgate 儀器

技術詳細資料

被穩定的 He/Ne 激光

非被穩定的 He/Ne 激光

測定範圍 (mm)

1000mm

25mm

抵銷範圍 (m)

1m

1m

系統解決方法 (nm)

下來對 1nm

下來對 1nm

名義上的激光波長 (nm)

632.8

632.8

激光頻率穩定性

2x10-8

2x10-8

操作溫度範圍 (°C)

15-30

15-30

大氣 R.i. Variation Correction

- 標準

1x10-6

1x10-6

- 合併的充氣光電池

5x10-8

5x10-8

回射器自動電子優化

回射器轉換費率 (mm/s)

300

300

參考回射器 (mm)

38

38

移動回射器 (mm)

15

15

Inferometer 題頭 (mm)

98x96x56

98x96x56

- 前置放大器董事會 (罪孽/COS 模擬輸出)

- 微處理器董事會 (Opto 電子信號處理)

界面: 序列

RS232

RS232

用品線路電壓 (v)

100-240

100-240

用品線路頻率 (Hz)

47-60

47-60

來源: Queensgate 有限公司儀器。

關於此來源的更多信息请請參觀 Queensgate 有限公司儀器。

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