真空の Nanopositioning の段階 - PI からの P-915

真空の Nanopositioning の段階 - PI からの P-915

P-915KLVS の高原動力は、互換性があるにの高ロード nanopositioner XYZ の piezo スキャンナー提供します 200 x 200 の mm の非常に大きく明確な開口を掃除機をかけます。

機能及び利点

  • 10-6 hPa に互換性がある真空
  • 容量性センサーとの直接度量衡学
  • 優秀な直線性: <0.1 µrad のふれ
  • 摩擦がない、高精度のたわみの指導システム
  • 容量性センサーとの直接度量衡学

Last Update: 13. September 2013 09:21

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