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진공 Nanopositioning 단계 - PI에서 P-915

P-915KLVS 높 역동성은, 양립한 의 높 짐 nanopositioner XYZ piezo 스캐너 제안합니다 200 x 200 mm의 아주 큰 명확한 가늠구멍을 진공 청소기로 청소합니다.

특징 & 이점

  • 10-6 hPa에 양립한 진공
  • 전기 용량 센서를 가진 직접 도량형학
  • 우수한 Straightness: <0.1 µrad Runout
  • Frictionless, 높 정밀도 굴곡 인도 시스템
  • 전기 용량 센서를 가진 직접 도량형학

Last Update: 13. September 2013 09:22

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