PI からの線形モーターN 664 を搭載する超高度の正確さの Nano 位置の線形段階

この参照クラスの線形ポジシァヨナーは副ナノメーターの解像度の自己締め金で止める非磁気モーターから成り立ちます。 高精度交差させた軸受および直接副ナノメーターの解像度の線形エンコーダによって高精度測定提供されます。

顕著な機能

N-664 の主要特点は次のとおりです:

  • 30 の mm の旅行範囲。
  • 0.5 nm のエンコーダの解像度。
  • モーターをロックしている自己。
  • 優秀な指導の正確さ。
  • 10 mm/s. の速度。
  • 使用できる真空バージョン。

Last Update: 19. April 2012 04:45

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